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如图11所示,扫描电镜被广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、生物学、医学、半导体材料与器件、宝石鉴定、生产工艺控制、工业生产中的产品质量鉴定和刑事侦察等。 二、SEM系统的主要构成 1、电子枪 电子枪在扫描电镜中的作用是发射电子,充当电镜的照明源。因此,电子枪是整个电镜中最关键的组件之一,其性...
SEM的工作原理扫描电镜是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。 通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红...
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图1 光镜、扫描电子显微镜（SEM）和透射电子显微镜（TEM）所用波长大小的电磁波谱 因此，SEM和TEM采用电子束来探测材料，从而获得比光学显微镜分辨率更高的图像。例如，加速电压为100 kV 的电子束（λ =0.000004 μm）可以达到0.24 nm 的分辨率。分辨率的实际极限取决于透镜的像差和缺陷。现代FE-SEM通常在 20-...
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扫描电子显微镜 (SEM) 依靠聚焦电子束和样品之间的相互作用来生成高分辨率图像。与其他显微技术相比，SEM 的主要优势之一是它能够实现更高的分辨率，通常在 1-10 纳米范围内。一些 SEM 的分辨率可以达到 1 纳米以上。这使得研究人员能够研究样品表面形貌、成分和其他特性的细节。电子束的产生以及与样品的相互作用 在 ...