扫描电镜全称为扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM),被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。扫描电子显微镜(SEM)主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态,即用极细的电子束去扫描样品,通过探测由入射电子轰击样品表面激发出来的电子...