微型机电系统（Micro Electro Mechanical System: MEMS）是指那些外形轮廓尺寸在毫米量级以下，构成元件是微米量级的可控制、可运动的微型机电装置，它是自微电子技术问世以来，人们不断追求高新技术微型化的必然结果。简介 有如孙悟空钻入铁扇公主的肚子里一样，微型机械小虫能够完成常人无法想象的任务。比如它能够钻入...
MEMS（Micro-Electro-Mechanical System），中文称作微机电系统。它是利用半导体的加工技术将机械系统的尺寸缩小到毫米级，或微米级，再与微电路一起集成到芯片上。本质是将机械系统微型化，对工艺的要求较高，不同类型的MEMS产品都有独特的制造工艺和专属的封装形式。与传统工艺制造的同类产品相比，MEMS具有体积小、重量...
微机电系统(MEMS) 功率 晶圆制造厂环境解决方案 软件 Ginestra Simulation Platform 技术词汇表 MEMS 器件应用范围的扩大,包括加速仪、陀螺仪和麦克风等应用,成为当前移动、汽车和医疗设备市场转型的主要推动力。多功能或“组合”传感器封装技术的开发,进一步加速了 MEMS 器件的应用。MEMS 器件占用的面积更小,便能够在类...
MEMS(Micro-Electro-Mechanical System),中文称作微机电系统。它是利用半导体的加工技术将机械系统的尺寸缩小到毫米级,或微米级,再与微电路一起集成到芯片上。本质是将机械系统微型化,对工艺的要求较高,不同类型的MEMS产品都有独特的制造工艺和专属的封装形式。 与传统工艺制造的同类产品相比,MEMS具有体积小、重量轻、...
微机电系统工程（Micro-Electro-Mechanical Systems Engineering）是中国普通高等学校本科专业。本专业培养能面向微机电系统领域从事微纳制造工艺与装备研究、微纳器件系统开发、技术管理、设备运行与维护、经营管理等方面工作的高素质复合型创新人才。专业定义 微机电系统工程以机、电技术，尤其是微机械为基础，运用微电子...
通用术语和定义 微机电系统 micro-electromechanical systems;MEMS 基于微纳制造技术制备的功能结构、器件构成的系统。 注:微传感器、微执行器、微流控器件、微能源等,以及与信号处理、控制等电路的集成。微机…
您检索的MEMS,一般指微机电系统,其他释义请点击此处。 微机电系统是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。 目录 1系统概述 2系统概念 3丰富内涵 4简介 ▪特点 ▪优势▪发展史 ...
微机电系统；加工工艺；MEMS 1、引言 传统机电系统包括电子控制、机械和传感执行部分。微电子学的兴起使电子系统部分变得微型化。而微机电系统（MEMS，Micro-Electro-Mechanical Systems）对非电子系统部分也进行了微型化处理，使其具有体积小、重量轻、功耗低和机械电子合一等优点。MEMS包括微型传感器、微型执行器和相应的...
MEMS全称Micro Electromechanical System,即微机电系统,MEMS产品将具有不同功能的微传感器、微执行器、微结构、信号处理与控制电路、通讯/接口单元在硅晶圆上制作而成,是微型机械加工工艺和半导体工艺相结合的产品。 简单来讲,MEMS是一种结合了机械和电子技术的微小装置。