微型机电系统（Micro Electro Mechanical System: MEMS）是指那些外形轮廓尺寸在毫米量级以下，构成元件是微米量级的可控制、可运动的微型机电装置，它是自微电子技术问世以来，人们不断追求高新技术微型化的必然结果。简介 有如孙悟空钻入铁扇公主的肚子里一样，微型机械小虫能够完成常人无法想象的任务。比如它能够钻入...
MEMS惯性传感器,最大的细分产品 MEMS惯性传感器,属于MEMS传感器的最大细分产品 主要包括陀螺仪(测量角速率,有大小有方向)、加速度计(测量线加速度,有大小有方向)、磁力计(用于测试磁场强度和方向,定位设备的方位,原理跟指南针类似)、以及惯性测量单元(IMU)(通常是3个轴向的MEMS陀螺仪+3个轴向的MEMS加速度计组合组成...
通用术语和定义 微机电系统 micro-electromechanical systems;MEMS 基于微纳制造技术制备的功能结构、器件构成的系统。 注:微传感器、微执行器、微流控器件、微能源等,以及与信号处理、控制等电路的集成。微机…
微机电系统(MEMS)通过精确的结构设计和材料选择,已经成为从智能手机到汽车等日常设备中不可或缺的组成部分。虽然传统的半导体制造一直是MEMS生产的主要方式,但在定制化应用和小批量生产领域,三维打印技术正在形成新的制造范式[1]。 微机电系统制造技术的演进
《微机电系统（MEMS）技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范》是2025年4月1日开始实施的一项中国国家标准。编制进程 2024年9月29日，《微机电系统（MEMS）技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范》发布。2025年4月1日，《微机电系统（MEMS）技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范》实施。起草工作...
微机电系统(MEMS) 功率 晶圆制造厂环境解决方案 软件 Ginestra Simulation Platform 技术词汇表 MEMS 器件应用范围的扩大,包括加速仪、陀螺仪和麦克风等应用,成为当前移动、汽车和医疗设备市场转型的主要推动力。多功能或“组合”传感器封装技术的开发,进一步加速了 MEMS 器件的应用。MEMS 器件占用的面积更小,便能够在类...
MEMS(Micro Electromechanical System,即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。概括起来,MEMS具有以下几个基本特点,微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产。MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和...
使用COMSOL Multiphysics® 软件的附加“MEMS 模块”分析多物理场相互作用,并模拟压电器件、MEMS 传感器等。
一、微机电系统（MEMS）技术的进步 微型化与纳米化：随着微电子机械系统（MEMS）和纳米技术的不断进步，传感器正朝着微型化和纳米化的方向发展。微型传感器利用微机械加工技术将微米级的敏感元件、信号处理器、数据处理装置封装在一块芯片上，具有体积小、成本低、便于集成等优点。纳米传感器则更进一步，其尺寸更小，...