通用术语和定义 微机电系统 micro-electromechanical systems;MEMS 基于微纳制造技术制备的功能结构、器件构成的系统。 注:微传感器、微执行器、微流控器件、微能源等,以及与信号处理、控制等电路的集成。微机…
以下是一些与MEMS相关的名词解释: 1.传感器(Sensor):一种能够感知并转换外部物理量、化学量或生物量的设备,可以将感应到的物理量转化为电信号。 2.执行器(Actuator):一种能够接收电信号并将其转化为相应的机械运动的设备,用来实现对外界的控制或作用。 3.微型机械(Micro-Mechanical):指尺寸在微米或纳米级别的机械...
GBT 26111-2023 微机电系统(MEMS)技术 术语 星级: 38 页 GBT26111-2023 微机电系统(MEMS)技术术语 星级: 38 页 GBT 26111-2010微机电系统(MEMS)技术 术语 星级: 37 页 GB_T 26111-2023微机电系统(MEMS)技术 术语 星级: 36 页 GB/T 26111-2023 微机电系统(MEMS)技术 术语 星级: 38 页 GB ...
Ⅲ1范围微机电系统(MEMS)技术术语GB/T26111—2010本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文件...
微机电系统(MEMS)是一种技术,其最一般的形式可以定义为使用微细加工技术制成的小型机械和机电元件(即设备和结构)。MEMS器件的关键物理尺寸可能从尺寸范围的下端的一微米以下到几毫米不等。同样,MEMS装置的类型可以从没有运动元件的相对简单的结构变化到在集成微电子的控制下具有多个运动元件的极其复杂的机电系统。MEMS...
GB/T 26111-2010微机电系统(MEMS)技术 术语.pdf,ICS31.200 L55 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT26111 2010 微机电系统( )技术 术语 MEMS — Micro-electromechanicalsstemtechnolo Terms y gy 国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页 2011-0
微机电系统(MEMS)是一种技术,其最一般的形式可以定义为使用微细加工技术制成的小型机械和机电元件(即设备和结构)。MEMS器件的关键物理尺寸可能从尺寸范围的下端的一微米以下到几毫米不等。同样,MEMS装置的类型可以从没有运动元件的相对简单的结构变化到在集成微电子的控制下具有多个运动元件的极其复杂的机电系统。MEMS...
GBT 26111-2010 微机电系统MEMS技术 术语.pdf 微机电系统MEMS技术 gbt 26111-2010 微机电系统mems技术 术语 261 11 《GBT26111-2010微机电系统(MEMS)技术术语.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《GBT26111-2010微机电系统(MEMS)技术术语.pdf(36页珍藏版)》请在人人文库网上搜索。 I C S3 1 2 0 0 L5 ...
微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法 1 范围 本文件规定了用于压电式微传感器和微执行器等器件的压电薄膜机电转换特性测量方法。本文件适用于MEMS工艺制备的压电薄膜。2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应...