通用术语和定义 微机电系统 micro-electromechanical systems;MEMS 基于微纳制造技术制备的功能结构、器件构成的系统。 注:微传感器、微执行器、微流控器件、微能源等,以及与信号处理、控制等电路的集成。微机…
GBT 26111-2023 微机电系统(MEMS)技术 术语 星级: 38 页 GBT26111-2023 微机电系统(MEMS)技术术语 星级: 38 页 GBT 26111-2010微机电系统(MEMS)技术 术语 星级: 37 页 GB_T 26111-2023微机电系统(MEMS)技术 术语 星级: 36 页 GB/T 26111-2023 微机电系统(MEMS)技术 术语 星级: 38 页 GB ...
以下是一些与MEMS相关的名词解释: 1.传感器(Sensor):一种能够感知并转换外部物理量、化学量或生物量的设备,可以将感应到的物理量转化为电信号。 2.执行器(Actuator):一种能够接收电信号并将其转化为相应的机械运动的设备,用来实现对外界的控制或作用。 3.微型机械(Micro-Mechanical):指尺寸在微米或纳米级别的机械...
GBT 26111-2023微机电系统(MEMS)技术 术语(标准状态：现行)I C S31.080.99 C C S L59 中华人民共和国国家标准 G B/T26111 2023 代替G B/T26111 2010 微机电系统(M E M S)技术术语 M i c r o-e l e c t r o m e c h a n i c a l s y s t e mt e c h n o l o g y...
微机电系统(MEMS)技术 术语 ICS 31.080.99 L 55 中华人民共和国国家标 准中 华人民共和国国家标准 GB/T XXXXX—XXXX 代替 GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语 Micro-electromechanical system (MEMS) technology – Terms IEC 62047-1:2016,MOD (征求意见稿) XXXX - XX - XX 发布 XXXX - XX -...
Ⅲ 1范围 微机电系统(MEMS)技术术语 GB/T26111—2010 本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和 定义。 本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本...
GB/T 26111-2010微机电系统(MEMS)技术 术语.pdf,ICS31.200 L55 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT26111 2010 微机电系统( )技术 术语 MEMS — Micro-electromechanicalsstemtechnolo Terms y gy 国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页 2011-0
微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法 1 范围 本文件规定了用于压电式微传感器和微执行器等器件的压电薄膜机电转换特性测量方法。本文件适用于MEMS工艺制备的压电薄膜。2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应...
MEMS技术的出现开辟了的技术一个全新领域和产业。它们具有许多传统传感器无法比拟的优点,因此在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。 1、微机电(MEMS)技术的丰富内涵 随着时间的推移以及技术的逐步发展,MEMS所包含的内容正不断的增加变的更加丰富。世界...