《微机电系统[MEMS]原理、设计和分析》.pdf [General Information] 书名=微机电系统(MEMS)原理、设计和分析 作者=田文超著 页数=250 出版社=西安市:西安电子科技大学出版社 出版日期=2009.05 SS号 DX号=000006735737 URL=/bookDetail.js p?dxNumber=000006735737d=5E6F6F31BCFA39CD4 78D5E5938854DCE 封面 书名 ...
《微机电系统(MEMS)原理、设计和分析》是田文超编著的,由西安电子科技大学出版社出版。 作者简介 田文超,男,1968年出生,博士后,副教授,现在西安电子科技大学机电工程学院从事教学与科研工作。主要研究方向为微传感器和微执行器设计仿真、MEMS表面和界面分析以及电子封装技术。先后主持或参与10项国家及省部级项目,发表学...
微机电系统(MEMS)技术 MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法.pdf,微机电系统(MEMS)技术 射频MEMS 环行器和隔离器 1 范围 本文件规定了射频MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)环行器和隔离器的术语、基本额定值、 特征参数以及测量方法。 2 规范性引用文件 下列文件中
基于微机电系统(MEMS)工艺,设计并加工了一种"L"型微弹簧。根据经典材料力学理论进行的分析表明,在微弹簧竖直方向所受10mN力的作用下,微弹簧内部最大应力为88.75MPa,且... 张炜,李华 - 《压电与声光》 被引量: 0发表: 2014年 微机电系统(MEMS)结构及设计结构 在本文中公开了微机电系统(MEMS)结构,制造和使...
1.MEMS传感器是一种微型传感器,它利用微电子技术和微加工技术制造,尺寸通常在几微米到几毫米之间。 2.MEMS传感器的工作原理是将物理量(如压力、温度、加速度等)转换为电信号。 3.MEMS传感器具有体积小、重量轻、功耗低、灵敏度高、响应速度快等优点。 【MEMS传感器的类型】: 微机电系统与纳米技术 #MEMS传感器的原...
1、1,微机电系统,Micro-Electro-Mechanical Systems,2,引言,信息系统微型化 系统体积大大减小 性能、可靠性大幅度上升 功耗和价格大幅度降低 信息系统的目标:微型化和集成化 微电子解决电子系统的微型化 非电子系统成为整个系统进一步缩小的关键,3,4,5,MEMS技术,从广义上讲,MEMS是指集微型传感器、微型执行器、信号...
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MEMS&Microsystems—Designand Manufacture 刘晓明,朱钟淦著.《微机电系统设计与制 造》国防工业出版社,2006 ••[[美美]]徐泰然著,王晓浩等译徐泰然著,王晓浩等译.MEMS.MEMS和微系统和微系统--设计与制设计与制 造造..机械工业出版社,机械工业出版社,20032003 ...
西安电子科技大学机电工程学院有一位资深的学者，他的名字是田文超。田博士后，1968年出生于中国，目前担任学院的副教授，专注于微机电系统(MEMS)领域的教学与科研工作。田教授的研究专长涵盖了微传感器和微执行器的设计仿真，对MEMS表面和界面分析有着深入的理解。此外，他还积极探索电子封装技术，为这一...