压阻式压力传感器是一种常用的传感器,它基于电阻随着受力变化而变化的原理,可以将被测量物体的压力转化为电信号输出。其主要特点包括灵敏度高、精度较高、结构简单易于制造和维护等等。 1.压阻式压力传感器的结构 压阻式压力传感器由感应元件和支撑组成。感应元件通常是由导电聚合物或薄膜材料制成的压阻器件,当材料受到...
压阻式压力传感器的基本原理是惠斯顿电桥，输出差分电压。如下图：对于硅压阻式压力传感器来说，由于材料的特性，该电桥上的四个电阻都存在温度系数，并且，压敏系数也存在温度系数，且小于零。所以，必须要温度补偿。该类传感器在恒流供电和恒压供电时，对于灵敏度的温度漂移有很大的差别。
已制成扩散硅膜薄到10微米,外径仅0.5毫米的注射针型压阻式压力传感器和能测量心血管、颅内、尿道、子宫和眼球内压力的传感器。图3是一种用于测量脑压的传感器的结构图。压阻式传感器还有效地应用于爆炸压力和冲击波的测量、真空测量、监测和控制汽车发动机的性能以及诸如测量枪炮膛内压力、发射冲击波等兵器方面的测量。
图4-18是压阻式压力传感器的典型应用电路。该电路由ai，vdi，vti和ri构成恒流源电路对电桥供电，输出1.5 ma的恒定电流。为了保证测量电路的精度，在测量电路中设置了由vd3和～组成的温度补偿电路，其原理是利用硅二极管对温度很敏感而作为温度补偿无件。一般二极管的温度系数为-2 mv/℃。调节wl可获得...
解:1)在硅杯的晶面电阻布局图上补全四个扩散电阻(4分),并画出全桥电路。(4分) 2)工作原理:扩散硅压阻式压力传感器由外壳、硅膜片和引线组成。其核心部分是一块圆形的膜片,在膜片上利用集成电路的工艺扩散4个阻值相等的电阻,构成上述电桥。膜片的两边有两个压力腔,一个是和被测系统相连接的高压腔,另一个是...
压阻式压力传感器是一种常用的传感器,它基于电阻随着受力变化而变化的原理,可以将被测量物体的压力转化为电信号输出。其主要特点包括灵敏度高、精度较高、结构简单易于制造和维护等等。 1.压阻式压力传感器的结构 压阻式压力传感器由感应元件和支撑组成。感应元件通常是由导电聚合物或薄膜材料制成的压阻器件,当材料受到...