压阻式压力传感器是一种常用的传感器,它基于电阻随着受力变化而变化的原理,可以将被测量物体的压力转化为电信号输出。其主要特点包括灵敏度高、精度较高、结构简单易于制造和维护等等。 1.压阻式压力传感器的结构 压阻式压力传感器由感应元件和支撑组成。感应元件通常是由导电聚合物或薄膜材料制成的压阻器件,当材料受到...
解:1)在硅杯的晶面电阻布局图上补全四个扩散电阻(4分),并画出全桥电路。(4分) 2)工作原理:扩散硅压阻式压力传感器由外壳、硅膜片和引线组成。其核心部分是一块圆形的膜片,在膜片上利用集成电路的工艺扩散4个阻值相等的电阻,构成上述电桥。膜片的两边有两个压力腔,一个是和被测系统相连接的高压腔,另一个是...