4. 制作传感器组件 根据设计的传感器结构,制作传感器组件。这可能包括制作敏感元件的薄膜或片,以及组装信号处理电路其他必要的组件。在制作过程中,确保组件的精度和稳定性,以获得准确可靠的压力测量结果。 5. 进行校准和测试 制作完成后,对压力传感器进行校准和测试。校准是为了确保传感器输出的压力值与实际压力值之间的...
本发明提供了压力传感器的制作方法,包括:获取符合厚度要求的弹性钢板,在钢板的第一板面和金属箔片上涂覆粘接胶,将金属箔片和弹性钢板的第一面板胶面对胶面叠放在一起,挤压弹性钢板和金属箔片,使弹性钢板和金属箔片粘接在一起,在弹性钢板的第二面板上加工数个盲孔,把第一面板上的金属箔片刻蚀成数个惠斯通电桥,沿着...
高温压力传感器是为了解决在高温环境下对各种气体、液体的压力进行测量。主要用于测量锅炉、管道、高温反应容器内的压力、井下压力和各种发动机腔体内的压力、高温油品液位与检测、油井测压等领域。目前,研究比较多的高温压力传感器主要有SOS,SOI,SiO2,Poly2Si等半导体传感器,还有溅射合金薄膜高温压力传感器、高温光纤压力传...
一、材料准备 1. 基板:选择适用于压力传感器制作的基板,基板要求表面平整、无悬浮物和划痕等缺陷。 2. 膜材料:传感器薄膜为薄膜式传感器的核心技术之一。可以选用聚酯膜或聚酰亚胺薄膜等。 3. 金属材料:如铜箔、镍、金等用于印制电路。 4. 化学试剂:例如光敏胶、氧化铜蚀液、金属浸渍液等。 二...
应变式压力传感器基于电阻器的应变灵敏度。它将应变产生的微小电阻变化转换为电信号,用于测量被测压力。传感器通常由下面三个部分组成: 1.底座:用于支撑和固定传感器。 2.应变电阻:在底座上粘贴有一个应变电阻片,在受压状态下,应变电阻片上的电阻值会发生变化。 3.电路板:负责连接电源和读取应变电阻片的电压。 当...
薄膜式压力传感器的基本构成包括电极、导电薄膜、绝缘薄膜、支撑基底等部分。在制作过程中,需要准备以下材料: 1. 电极材料:金属箔或导电膜材料,如ITO、Ti/Pt/Au等。 2. 绝缘薄膜材料:PET薄膜、二氧化硅等。 3. 支撑基底材料:玻璃基板或硅衬底。 4. 制作工具:电子显微镜、电子束刻蚀机、光刻曝光机...
应变压力传感器的主要工艺步骤:弹性体加工-贴片-组桥-补偿-测试-密封 一.弹性体加工 应变压力传感器的弹性体主要是金属材料,常见的是铝合金.根据材料力学-应力与应变之间的关系,合金钢和不锈钢材料加工各种结构尺寸的弹性体,然后进行热处理.电镀、精细打磨,最终形成合格的弹性体。
第一电极的另一端形成第一接线端，第一电极与硬质导电层保持电性绝缘；第二电极的一端与硬质导电层电连接，第二电极的另一端形成第二接线端，第二电极与压力敏感层保持电性绝缘。本申请提供的压力传感器及其制作方法，能够提升压力传感器的灵敏度、响应速度及稳定性。本文源自：金融界 作者：情报员 ...
2 传感器芯体制造 依据以上的设计工艺和方案完成实体制作。图3(a)介绍了芯体制造流程:第1个步骤是采用粗车加工的形式处理17-4PH不锈钢坯料。经过加工后能够形成配置了不锈钢薄膜的压力芯体,接着需要精铣处理端面位置,进而提升不锈钢薄膜的精度,最后喷砂处理芯体表面;第2个步骤为连接应变片和芯体台面的前期处理,主要...
我们常用的主要是基于压电效应的压电传感器。晶体具有各向异性，非晶体则呈现各向同性。某些晶体，在特定方向受机械力作用变形时，会表现出极化现象；当机械力撤除后，它们会恢复到无电状态。这种在压力作用下产生电效应的现象被称为压电效应。科学家正是利用这一特性开发了压电传感器。