4. 制作传感器组件 根据设计的传感器结构,制作传感器组件。这可能包括制作敏感元件的薄膜或片,以及组装信号处理电路其他必要的组件。在制作过程中,确保组件的精度和稳定性,以获得准确可靠的压力测量结果。 5. 进行校准和测试 制作完成后,对压力传感器进行校准和测试。校准是为了确保传感器输出的压力值与实际压力值之间的...
一、材料准备 1. 基板:选择适用于压力传感器制作的基板,基板要求表面平整、无悬浮物和划痕等缺陷。 2. 膜材料:传感器薄膜为薄膜式传感器的核心技术之一。可以选用聚酯膜或聚酰亚胺薄膜等。 3. 金属材料:如铜箔、镍、金等用于印制电路。 4. 化学试剂:例如光敏胶、氧化铜蚀液、金属浸渍液等。 二、...
高温压力传感器是为了解决在高温环境下对各种气体、液体的压力进行测量。主要用于测量锅炉、管道、高温反应容器内的压力、井下压力和各种发动机腔体内的压力、高温油品液位与检测、油井测压等领域。目前,研究比较多的高温压力传感器主要有SOS,SOI,SiO2,Poly2Si等半导体传感器,还有溅射合金薄膜高温压力传感器、高温光纤压力传...
压力传感器的密封可根据压力传感器的使用环境和压力传感器用户的要求进行设置。一般用于室内环境,保护等级要求低,一般我们通常只在压力传感器的应变计或电路上涂硅橡胶来保护这些产品。压力传感器多用于室外环境恶劣的压力传感器,对压力传感器的保护等级较高。我们通常在沉孔中设计压力传感器的贴片部分,在保护过程中将硅酮树脂...
薄膜式压力传感器的基本构成包括电极、导电薄膜、绝缘薄膜、支撑基底等部分。在制作过程中,需要准备以下材料: 1. 电极材料:金属箔或导电膜材料,如ITO、Ti/Pt/Au等。 2. 绝缘薄膜材料:PET薄膜、二氧化硅等。 3. 支撑基底材料:玻璃基板或硅衬底。 4. 制作工具:电子显微镜、电子束刻蚀机、光刻曝光机...
电容式压力传感器在许多领域都展现出了巨大的应用潜力。传统依赖电介质层厚度改变反映压力信号的方式虽然具有结构简单、能耗低、易读取和稳定性高的优势,但弹性介电层往往存在不可压缩厚度。不仅如此,许多针对介电层的织构化手段借助高聚物倒模等手段进行,都导致了压力传感器的纵向和横向尺寸较大,不利于实现微观尺度下的...
掌握应变式压力传感器的工作原理和制作方法。 二、实验设备 数字万用表;试件;电阻应变片;KH—502;丙酮;乙醇;脱脂棉;镊子;砂布;放大镜;白布带;胶带;白胶布等。 三、实验原理 将应变片粘固在弹性元件或需要测量变形的物体表面上。在外力作用下,电阻丝即同弹性件一起变形,其电阻值发生相应的变化。由此,将被测量...
首先，我们要在网上淘一个本田雅阁或者北京现代车的进气压力传感器。以图中本田雅阁进气压力传感器为例，从正面从左往右看，第一脚标记V，表示接5伏电源，第二脚标记⊙，表示从传感器出来的信号，第三脚标记G，表示接地线。然后在电子产品经营部买一个7805或者7809三端稳压器。我说明一下：三端稳压器7805表示输出...
应变式压力传感器基于电阻器的应变灵敏度。它将应变产生的微小电阻变化转换为电信号,用于测量被测压力。传感器通常由下面三个部分组成: 1.底座:用于支撑和固定传感器。 2.应变电阻:在底座上粘贴有一个应变电阻片,在受压状态下,应变电阻片上的电阻值会发生变化。 3.电路板:负责连接电源和读取应变电阻片的电压。 当...
典型溅射薄膜式压力传感器的主要工艺流程如图2.4所示,其中压力敏感元件制作为关键过程,包括弹性体制造、研磨抛光、镀膜、离子束刻蚀等四道工序。 弹性体设计与制造:指弹性体钢杯的结构设计与机械加工,去应力热处理。此环节将确定弹性体膜片基本参数,基本决定了溅射薄膜式压力传感器的输入一输出关系。弹性体建模与计算过程...