PSG,BPSG,FSG一般会用CVD的方法进行薄膜沉积,在薄膜沉积后,一般会用到高温退火工艺。退火能改善薄膜的结构性能,如降低缺陷和应力,提高密度和硬度等。通常在进行薄膜沉积时,还需要额外的气体用于稀释和调节反应速率,例如氮气或氩气。氮气(N2)和氩气(Ar)是不活泼的,它们主要作用是帮助控制反应速度和稀释反应气体,以便更...