本发明属于半导体光电探测器领域,具体涉及一种PS纳米球辅助的4HSiC基热载流子型光电探测器及其制备方法,探测器包括自上而下依次设置的顶电极层,PS:TiNNPs层,半导体层,底电极层,所述顶电极层为半透明金属电极,PS:TiNNPs层包括单层排布在半导体层上的PS纳米球阵列和溅射在PS纳米球阵列表面的TiN纳米颗粒层,所述PS...