这反射的光束与原始的入射光束产生干涉，造成了明暗交替的干涉条纹，这就是“驻波效应”。这种效应会使光刻胶中的光强度呈现出上下起伏的模式：那些处于高光强的部分会发生更多的光化学反应，而低光强区域的反应则相对较少。这导致了在显影阶段，光刻胶的溶解呈现出与光强度模式相匹配的不均匀性，最终在光刻胶的剖面上形成了
这反射的光束与原始的入射光束产生干涉,造成了明暗交替的干涉条纹,这就是“驻波效应”。这种效应会使光刻胶中的光强度呈现出上下起伏的模式:那些处于高光强的部分会发生更多的光化学反应,而低光强区域的反应则相对较少。这导致了在显影阶段,光刻胶的溶解呈现出与光强度模式相匹配的不...
驻波效应是波动现象中的重要概念,指的是一种特殊的波形叠加现象,产生于波在空间中传播时遇到反射并与自身原波相互叠加形成固定的波纹模式。在物理学、工程学和其他领域中,人们经常遇到驻波效应,其特点包括波节和波腹的沿波动方向交替排列,使得某些区域波幅增强,而另一些区域波幅减小,产生了独特的波动现象。 1.驻波效应...
这反射的光束与原始的入射光束产生干涉,造成了明暗交替的干涉条纹,这就是“驻波效应”。 这种效应会使光刻胶中的光强度呈现出上下起伏的模式:那些处于高光强的部分会发生更多的光化学反应,而低光强区域的反应则相对较少。 这导致了在显影阶段,光刻胶的溶解呈现出与光强度模式相匹配的不均匀性,最终在光刻胶的剖面...
驻波效应是在电磁波传输中常见的一种现象,指的是由于波的反射、干涉造成的波的叠加,形成空间某处波幅固定不变或震荡增大的现象。 1.驻波效应产生原因 驻波效应的产生主要有以下几个原因: 1. 波的干涉 波叠加:当两个相同频率的波以相反方向传播并在空间中交叠时,它们会相互叠加形成干涉,导致一些位置上波的振幅增...
解决驻波问题的最好办法是采用插入式耳机。堵耳效应 当外耳道口被堵塞后骨导听阈降低的现象称为堵耳效应（occlusion effect）。多出现在1KHz以下频率。实际上这是一种假象，不是真正的阈值改变，堵耳并不改变耳蜗的听敏度，是额外的声音能量传入耳蜗骨导使骨导阈值下降。当外耳道的堵塞位置在软骨部但未达到骨部...
驻波效应(Standing Wave Effect)指的是在半导体芯片内部,由于电子流的反射和干涉会形成驻波,在传输信号时会对半导体器件的工作产生影响。驻波现象发生时,电子流在半导体中反复弹跳,形成了电子在芯片内部的累积和空间节点,因此也称为空间节点效应。驻波效应是半导体中一个常见的问题,它会导致器件损坏、信号失真以及电子...
驻波效应:当曝光的光纤从光刻胶与衬底的界面反射时,会与入射的曝光光线产生干涉,会使曝光过度和不足的区域形成条纹状结构。 减小驻波效应的办法: 1、光刻胶内加染料可以减小反射强度。 2、经验表面淀积金属薄膜与电介质层作为抗反射镀膜减少晶圆表面的反射。 3、采用有机抗反射镀膜层。 4、通过曝光后烘烤降低。反...
光刻中驻波效应的影响分析 光刻中驻波效应的影响分析 驻波效应会改变光刻胶曝光区域的光强分布。其导致光刻图形边缘出现强度波动现象。 驻波效应可引发光刻胶线条宽度产生偏差。 会让光刻线条的顶部和底部尺寸出现差异。 驻波使得光刻胶内的能量吸收不均匀。 对光刻图形的分辨率提升带来一定阻碍。 驻波效应致使光刻胶显影...
抑制驻波效应的策略 为了减轻驻波效应对光刻质量的不良影响，工业界采取了一系列应对措施：PEB处理：即曝光后热处理，通过高温促进光敏剂中溶质的扩散，从而在一定程度上弥补驻波导致的光强分布不均。涂抗反射膜：在晶圆衬底或光刻胶层上涂布抗反射层，如TARC或B ARC，以减少光波的反射。驻波效应对半导体设备的制程...