这反射的光束与原始的入射光束产生干涉,造成了明暗交替的干涉条纹,这就是“驻波效应”。 这种效应会使光刻胶中的光强度呈现出上下起伏的模式:那些处于高光强的部分会发生更多的光化学反应,而低光强区域的反应则相对较少。 这导致了在显影阶段,光刻胶的溶解呈现出与光强度模式相匹配的不均匀性,最终在光刻胶的剖面...
这些衬底能够形成镜面反射的效果,会加剧光刻的驻波效应。 不恰当的曝光参数 曝光剂量:曝光剂量指的是单位面积上投射到光刻胶的光子数量。若曝光剂量过高,可能在亮带区域产生过度交联,使光刻胶在该区域更难以去除。相反,如果曝光剂量过低,暗带区域的光刻胶可能不足以实现充分交联,导致这些区域在后续显影过程中被过度...
这反射的光束与原始的入射光束产生干涉,造成了明暗交替的干涉条纹,这就是“驻波效应”。这种效应会使光刻胶中的光强度呈现出上下起伏的模式:那些处于高光强的部分会发生更多的光化学反应,而低光强区域的反应则相对较少。这导致了在显影阶段,光刻胶的溶解呈现出与光强度模式相匹配的不...
答:驻波效应是由于入射光与反射光产生干涉使沿胶厚的方向的光强形成波峰和波谷产生的。 消除驻波效应的主要方法: (1)采用热烘烤(PEB)技术消除驻波效应。原理:通过加热,利用分子的热运动平滑驻波效应产生的不平整。 (2)利用带染色剂的光刻胶消除驻波效应。原理:带染色剂的光刻胶可将大部分或几乎全部的入射光吸收...
驻波(Standing Wave),也称固定波,是一种由两个同频率、相同振幅、沿相反方向传播的波叠加而成的波形。这种波形的特点是在空间上形成一些固定位置的波节和波腹,波节是振幅最小的点,波腹是振幅最大的点。驻波是由反射波和直接波相互叠加形成的,当反射波和直接波在同一介质内传播时会产生驻波。例如,在一条绳子的一...
驻波效应:当曝光的光纤从光刻胶与衬底的界面反射时,会与入射的曝光光线产生干涉,会使曝光过度和不足的区域形成条纹状结构。 减小驻波效应的办法: 1、光刻胶内加染料可以减小反射强度。 2、经验表面淀积金属薄膜与电介质层作为抗反射镀膜减少晶圆表面的反射。 3、采用有机抗反射镀膜层。 4、通过曝光后烘烤降低。反...
1、驻波效应和堵耳效应的产生机制是什么? 2、临床如何消除堵耳效应和驻波效应的影响? 驻波 驻波(standing wave)是波的干涉特例,是由振幅、频率、振动方向均相同而传播方向相反的两列波迭加而成的,是一种特殊形式的干涉现象。表现为波形好像静止不动,跟波形...
驻波效应 在声学上是指当一种纯音进入一长度与纯音波长相等的一端封闭的管状腔时,封闭端的反射声波与继续进入的声波相遇;因相位相反,声能被抵消,而使传入的声能降低。 临床现象 纯音听阈测试中存在驻波效应。如在用压耳式耳机测试时,有时会发现6000Hz听阈比4000Hz和8000Hz明显下降(可高达15dB),但重新佩戴耳机或...
百度试题 题目驻波效应 相关知识点: 试题来源: 解析 光线照射到光刻胶与晶圆的界面上会产生部分反射。反射光与入射光会叠加形成驻波,形成驻波效应。驻波效应影响光刻分辨率。后烘烤后会部分消除驻波效应。 反馈 收藏