1. 微型机器人:利用马兰戈尼效应,可以设计出具有自主移动能力的微型机器人。这些机器人在生物医学、环境监测等领域具有潜在应用价值。 2. 流体控制:在微电子学、生物医学和化学实验等领域,精确的流体控制至关重要。马兰戈尼效应致动器能够提供一种无需外部泵或阀门的流...
1、本发明的目的是提供一种应用马兰戈尼效应的晶圆加工管理系统,以解决背景技术中不足。 2、为了实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种应用马兰戈尼效应的晶圆加工管理系统,包括薄膜监测模块、引发监测模块、对流监测模块、环境监测模块、数据处理模块、质量分析模块、评估管理模块以及警示控制模块; 3、薄膜监测模块:...
之后随着晶圆w上升,出气口311喷出的干燥气体从上至下将该区域的液膜连带其中的污染物、颗粒物等一同剥离,并且利用马兰戈尼(marangoni)效应使晶圆w表面的附着物按照与提升方向相反的方向从晶圆w表面彻底剥离,从而一步实现晶圆w表面的清洁和干燥。
一种应用马兰戈尼效应的晶圆清洗干燥装置和方法 本发明公开了一种应用马兰戈尼效应的晶圆清洗干燥装置和方法,其中装置包括:箱体;晶圆承载移动组件,用于接收晶圆,带动晶圆平行移位并沿竖直方向提升晶圆;双喷淋组件,其包括位于上方的出气口和位于下方的出液口,在晶圆上升过程中,出液口向晶圆表面第一区域喷... 申兵兵,...
一种应用马兰戈尼效应的晶圆清洗干燥装置和方法专利信息由爱企查专利频道提供,一种应用马兰戈尼效应的晶圆清洗干燥装置和方法说明:本发明公开了一种应用马兰戈尼效应的晶圆清洗干燥装置和方法,其中装置包括:箱体;晶圆承载移动组件,用于...专利查询请上爱企查
1背景介绍以有机发光二极管,有机太阳能电池和有机场效应晶体管为主的有机半导体薄膜器件,因在便携,可穿戴电子器件领域有巨大的应用前景,而逐渐成为无机半导体器件的一个重要补充.溶液法生长有机半导体薄膜工艺更使有机半导体器件的低成本,可在柔性基底上大面积制备的优点得到体现,因而受到广泛关注.但是,溶液法制备工艺...
基于马兰戈尼效应制备具有周期性褶皱结构的石墨烯薄膜及其在高灵敏应变探测中的应用(英文) 石墨烯薄膜中可控的微纳结构,有利于调控其物理性质并拓宽其在柔性电子器件中的应用.近年来,研究人员致力于控制石墨烯薄膜中褶皱,起伏波纹等微纳结构的形成.但是,... 贾宇飞、陈文骏、叶辰、杨荣亮、杨蕾蕾、张子安、胡清梅、...
本发明公开了一种应用马兰戈尼效应的晶圆加工管理系统,数据处理模块将均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数进行预处理,质量分析模块在晶圆加工完成后,综合分析均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数后对晶圆进行质量分级,质量分级结果发送至操作员。该管理系...
摘要 本实用新型公开了一种应用马兰戈尼效应的晶圆清洗干燥装置,包括:箱体;晶圆承载移动组件,用于接收晶圆,带动晶圆平行移位并沿竖直方向提升晶圆;双喷淋组件,其包括位于上方的出气口和位于下方的出液口,在晶圆上升过程中,出液口向晶圆表面第一区域喷液的同时出气口向晶圆表面第二区域喷气,其中,第一区域与第二区域相...