•干燥时间相对较长,适用于一些对干燥速度要求不高的场合。 应用领域 •马兰戈尼干燥原理常应用于食品、制药、化工等行业的干燥过程。 •适用于各种物质的干燥,例如粉末、颗粒、片状等。 六、结论 •马兰戈尼干燥原理通过马兰戈尼效应的作用,将湿空气中的水分质量传递到干燥剂上,从而实现干燥的目的。 •马兰...
华林科纳真空马兰戈尼干燥机,是在马兰戈尼IPA干燥的基础上利用了抽真空技术,避免了以前传统干燥技术造成的晶圆表面沾污和边缘损伤,同时也去除了马兰戈尼过程中的提拉速率和氮气吹扫的影响所带来的晶圆表面和边缘的干燥缺陷,大大缩短了干燥时间,提高产能效率! 以下为华林科纳真空马兰戈尼干燥机的详细信息: 一、主要用途:...
本发明涉及一种晶片干洗系统,更详细地说,涉及一种能够提高对晶片的干燥效率的马兰戈尼型(MARANGONI)TYPE)干洗系统。马兰戈尼型干燥剂系统,可以提高晶片的干燥效率。 上述干燥剂系统将低表面张力的异丙醇蒸气喷射到晶片的表面,使存在于上述晶片表面的去离子水干燥,干洗系统配备充有去离子水的壳体及充有异丙醇的液罐,壳...
马兰戈尼IPA干燥机运用了气化异丙醇(IPA)装置、N2供给装置,同时配置流量计检测IPA和N2的使用量等装置。该干燥机可以单独使用,也可以集成于湿法清洗设备内部,以达到干进干出的效果,作为湿制程设备专业研发制造商,公司对Marangoni 干燥方式的设备有丰富产线使用验证经验。
华林科纳真空马兰戈尼干燥机是一种高效、节能、易于操作、安全可靠的干燥设备,该干燥机可以单独使用,也可以集成于湿法清洗设备内部,以达到干进干出的效果。作为湿制程设备专业研发制造商,公司对晶圆干燥方式的设备有丰富的产线使用验证经验,可提供设计、制造、安装、调试(培训)及交付使用一条龙解决方案!
2024年10月25日恒州博智(QYResearch)调研发表的【2024-2030中国马兰戈尼干燥机市场现状研究分析与发展前景预测报告】本报告基于深度全面的调研数据,详细分析了马兰戈尼干燥机市场的现状、驱动因素、技术发展趋势、限制因素、主要参与者、市场规模、市场结构、市场趋势、竞争格局、消费者需求以及产品特点等关键信息。报告旨在...
专利摘要:本实用新型涉及半导体制造设备技术领域,公开了一种具有整束喷嘴的马兰戈尼干燥装置,包括:用于旋转晶圆的驱动机构、用于输送流体的供给臂以及箱体;所述供给臂可沿晶圆平面摆动并经由设置于其自由端处的喷嘴将干燥气体供应至晶圆上;所述喷嘴形成为:包括设于所述喷嘴内部的用于气体流通的腔室,所述腔室贯通位于...
第一章、晶圆马兰戈尼干燥机行业定义 晶圆马兰戈尼干燥机,全称为集成电路制造过程中的关键设备,是一种专为精 密半导体晶圆表面处理设计的高端干燥技术。该设备主要用于去除晶圆表面的水分 和其他湿气,确保后续的光刻、沉积等工艺在无杂质、无水分的环境下进行,从而 ...
晶圆马兰戈尼干燥机作为半导体制造过程中的关键设备,其在半导体行业的应用至关重要。这种干燥机通过马兰戈尼效应实现高效、低能耗的干燥过程,广泛应用于晶圆的清洗、干燥等环节。行业定义上,晶圆马兰戈尼干燥机是指一种利用马兰戈尼效应,通过物理方式实现液体(如溶剂)在固体表面(如晶圆)上快速扩散和蒸发,达到干燥目的的专...
本发明公开了一种马兰戈尼干燥方法和晶圆处理装置,该方法应用于晶圆处理装置,所述晶圆处理装置包括带动喷液嘴和喷气嘴摆动的摆臂,所述马兰戈尼干燥方法包括:第一阶段,喷液嘴从朝向晶圆中心的起始位置开始向晶圆表面供液以进行液膜覆盖,同时喷气嘴在保证不撕破液膜的情况下向外喷气,并且摆臂停留第一预设时间;第二阶段...