靶材，也称为溅射靶材，是高速荷能粒子轰击的目标材料。通过不同的激光（离子光束）和不同的靶材相互作用得到不同的膜系，实现导电和阻挡的功能。靶材由“靶坯”和“背板”组成，靶坯是由高纯金属制作而来，是高速离子束流轰击的目标；背板通过焊接工艺和靶坯连接，起到固定靶坯的作用，并且背板需要具备导热导电性。
氧化物靶材：这类靶材包括氧化铝、氧化锌等，它们主要用于制备具有特殊电学和光学性质的薄膜。氧化物靶材在半导体和光伏行业中尤为重要，因为它们能制备出具有高介电常数、特殊光学性质或者特定电导性的薄膜。这些氧化物薄膜在传感器、光伏电池和显示技术中有广泛应用。合金靶材：合金靶材是由两种或多种金属元素按照一定比例...
靶材是制造功能性材料的重要原材料,是指在各种物理化学过程中,通过制备、加工和电镀等工艺得到的具有一定形状、结构和成分的高纯度金属或化合物。靶材作为材料研究的重要原材料之一,具有规格纯度高、成分均匀、结晶度好等特点。靶材不仅用于研究新材料的合成和性能测试,还被广泛应用于各种工业和科学...
通俗地讲,靶材就是制造薄膜的“原材料”。 二、靶材的用途 靶材最常见的用途是用于制备各种薄膜,例如在计算机领域中制备硬盘磁头、显示器和光学存储器等。此外,靶材还可以用于制备涂层,例如清洁设备、太阳能电池、太阳能镀膜玻璃等。靶材还可以用于微电子设备的制造,例如在生物医药领...
靶坯是高速离子束流轰击的目标材料，属于溅射靶材的核心部分，涉及高纯金属、晶粒取向调控。在溅射镀膜过程中，靶坯被离子撞击后，其表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上制成电子薄膜。背板主要起到固定溅射靶材的作用，涉及焊接工艺。 按材质分类，靶材可分为常规金属靶材，贵金属靶材，稀土金属靶材，非金属靶材，...
靶材在科学研究和工业生产中应用广泛。在科学研究中,靶材主要用于材料的研究,例如,超导材料的制备和性质研究,以及各界科研工作者对材料结构、性质、变化规律等方向的研究。而在工业生产中,靶材主要用于半导体晶体管、太阳能电池、显示器、激光以及薄膜材料的制备等领域。 三、靶材的优势是什么? 靶材制备具有精度高、...
靶材是指用于产生粒子束并进行实验分析的材料,在物理、化学、材料学等领域中广泛应用。粒子束包括各种粒子,如电子、中子、质子、离子等。靶材通常需要具有适当的化学组成和物理性质,以便在特定的实验条件下产生粒子束。 二、靶材的种类 靶材种类繁多,根据不同的粒子束和实验目的需要,主要可以分为以下几类: 1. 离...
1.金属靶材:金属靶材是一种很常见的靶材,如铜、银、铝等。金属靶材通常用于制造金属导线、连接器和金属电极等元件。 2.氧化物靶材:氧化物靶材通常包括一系列的金属氧化物,如二氧化硅、氧化铝等。氧化物靶材通常用于制造存储器、传感器等元件。 3.氮化物靶材:氮化物靶材是近年来发展起来的一种新型...