靶材（Target Material）是溅射工艺中的关键材料。其作用是通过高能离子轰击，将靶材原子或分子剥离并转移到衬底表面，形成特定功能的薄膜。(1) 靶材在溅射工艺中的功能 作为粒子轰击的目标材料：溅射工艺中，高能离子（通常为氩离子）撞击靶材表面，使靶材原子脱离并迁移到衬底上。决定薄膜性能：靶材材料的纯度和
靶材，也称为溅射靶材，是高速荷能粒子轰击的目标材料。通过不同的激光（离子光束）和不同的靶材相互作用得到不同的膜系，实现导电和阻挡的功能。靶材由“靶坯”和“背板”组成，靶坯是由高纯金属制作而来，是高速离子束流轰击的目标；背板通过焊接工艺和靶坯连接，起到固定靶坯的作用，并且背板需要具备导热导电性。
1. 定义：靶材（又称溅射靶材）是物理气相沉积（PVD）技术的关键耗材，通过溅射工艺将靶材原子沉积在基板上，形成导电、绝缘或光学薄膜。其纯度通常高达99.95%以上，部分半导体领域要求达到99.9999%（6N）级别。2. 分类 按材质：金属靶材（Cu、Al、Ti等）、合金靶材（NiCr、CuInGaSe）、陶瓷靶材（SiO₂、Al₂...
简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防...
靶材在科学研究和工业生产中应用广泛。在科学研究中,靶材主要用于材料的研究,例如,超导材料的制备和性质研究,以及各界科研工作者对材料结构、性质、变化规律等方向的研究。而在工业生产中,靶材主要用于半导体晶体管、太阳能电池、显示器、激光以及薄膜材料的制备等领域。 三、靶材的优势是什么? 靶材制备具有精度高...
金属靶材：金属靶材是最常见的一类，包括铜、铝、金、银等。这类靶材的主要特点是高电导性和良好的热导性。在薄膜制备中，金属靶材通常用于制造导电薄膜，如在电子器件中的导电路径。金属靶材的纯度极高，通常在99.99%以上，这对于确保薄膜的均匀性和电性能至关重要。氧化物靶材：这类靶材包括氧化铝、氧化锌等，...
靶坯是高速离子束流轰击的目标材料，属于溅射靶材的核心部分，涉及高纯金属、晶粒取向调控。在溅射镀膜过程中，靶坯被离子撞击后，其表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上制成电子薄膜。背板主要起到固定溅射靶材的作用，涉及焊接工艺。 按材质分类，靶材可分为常规金属靶材，贵金属靶材，稀土金属靶材，非金属靶材，...
靶材是制造功能性材料的重要原材料,是指在各种物理化学过程中,通过制备、加工和电镀等工艺得到的具有一定形状、结构和成分的高纯度金属或化合物。靶材作为材料研究的重要原材料之一,具有规格纯度高、成分均匀、结晶度好等特点。靶材不仅用于研究新材料的合成和性能测试,还被广泛应用于各种工业和科学...
从专业上说，靶材是一种用于物理气相沉积（如磁控溅射、离子镀等）工艺的关键材料，其核心功能是通过高能粒子轰击将自身原子或分子转移到基底表面形成功能性薄膜。一看到这是不是就懵了，这说的是啥啊！下面我就用白话来说说什么是靶材：靶材，你可以把它想象成一种高科技“印章”。它的作用是在真空环境里，被带...