离子铣的第二个优点是它可以用来刻蚀各种不同类型的材料,包括很多化合物和合金材料,即便它们没有适当的挥发性刻蚀生成物。靶的刻蚀速率由于材料不同所引起的变化一般不会超过三倍。 离子冼刻蚀技术.jpg 离子束最小直径约10nm,离子束刻蚀的结构最小可能不会小于10nm。聚焦离子束刻蚀的束斑可达100nm以下,最少的达到10nm,获得最
切割癌细胞。这是一张癌细胞是用离子束切开的照片,光束把癌细胞的一部分炸开,露出一个横截面,并在硅基板表面切割出一个三角形的形状。这项被称为离子束铣削( ion-beam milling )技术,允许研究人员以前所未有的细节观察癌细胞内部。 发布于 2020-12-16 08:20 ...
基于聚焦离子束铣削技术的微刀具制备
用聚焦离子束技术在基片上直接铣削连续凹凸微光学元件的研究 维普资讯 http://www.cqvip.com
离子铣检测 离子铣检测概述:离子铣检测是一种利用离子束对材料表面进行精确刻蚀与分析的先进技术,广泛应用于半导体、金属及复合材料等领域。其核心检测要点包括束流均匀性、溅射速率控制、表面形貌分析及元素深度分布等参数。本文系统介绍离子铣检测的关键项目、适用材料范围、标准化方法及专用设备配置。
离子铣的第二个优点是它可以用来刻蚀各种不同类型的材料,包括很多化合物和合金材料,即便它们没有适当的挥发性刻蚀生成物。靶的刻蚀速率由于材料不同所引起的变化一般不会超过三倍。 离子束最小直径约10nm,离子束刻蚀的结构最小可能不会小于10nm。聚焦离子束刻蚀的束斑可达100nm以下,最少的达到10nm,获得最小线宽12nm...