离子铣的第二个优点是它可以用来刻蚀各种不同类型的材料,包括很多化合物和合金材料,即便它们没有适当的挥发性刻蚀生成物。靶的刻蚀速率由于材料不同所引起的变化一般不会超过三倍。 离子冼刻蚀技术.jpg 离子束最小直径约10nm,离子束刻蚀的结构最小可能不会小于10nm。聚焦离子束刻蚀的束斑可达100nm以下,最少的达到1...
这是一张癌细胞是用离子束切开的照片,光束把癌细胞的一部分炸开,露出一个横截面,并在硅基板表面切割出一个三角形的形状。这项被称为离子束铣削( ion-beam milling )技术,允许研究人员以前所未有的细节观察癌细胞内部。 发布于 2020-12-16 08:20
基于聚焦离子束铣削技术的微刀具制备
笔者利用聚焦离子束的无掩模加工、灵活性高和 精度高等特点,探索通过FIB铣削进行微切削刀具的 制备及其加工性能研究. 图2是FIB制备微刀具的加工步骤示意,箭头指 示了离子束溅射的方向,深色阴影部分表示被 FIB 铣 削去除的区域.首先,在刀具毛坯的圆柱面上铣削前 刀面,如图 2(a)所示.通过 FIB 铣削可获得一个...
用聚焦离子束技术在基片上直接铣削连续凹凸微光学元件的研究 维普资讯 http://www.cqvip.com
离子铣的第二个优点是它可以用来刻蚀各种不同类型的材料,包括很多化合物和合金材料,即便它们没有适当的挥发性刻蚀生成物。靶的刻蚀速率由于材料不同所引起的变化一般不会超过三倍。 离子束最小直径约10nm,离子束刻蚀的结构最小可能不会小于10nm。聚焦离子束刻蚀的束斑可达100nm以下,最少的达到10nm,获得最小线宽12nm...
离子铣技术（Ion milling technology）是指利用离子束对固体表面进行铣加工的技术。离子铣技术的优点是表面加工精度非常高，表面损伤小。离子铣技术可以代替光刻工艺，用来刻蚀器件或电路图形，它不仅刻蚀精度高，而且不会造成沾污或遗留杂质。但离子铣床比光刻机昂贵。离子铣装置 离子铣技术是利用离子束对固体表面进行铣...