电子气体,多采用集中式供应,可分为大宗气体,包括氮气、氢气、氩气、氦气、氧气、二氧化碳等;电子特种气体,包括笑气、氨气、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氢、八氟环丁烷、甲烷等气体。 电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料,它们广泛应用于薄...
随着集成电路行业的发展,我国新制定的国标《GB/T43772-2024 电子气体 二氧化碳》中对二氧化碳品的纯度要求已达到 5N以上,对气体杂质要求达1~5ppm,其中总硫要求低至10ppb;阴离子杂质和铵根离子的限度要求达到 1~5ppbw,对金属离子的限量要求小于1ppbw。 《GB/T43772-2024 电子气体 二氧化碳》中离子含量技术要求(点击...
特种气体指半导体生产环节中,比如延伸、离子注进、 掺和、洗涤、遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体,也就是气体类别中的电子气体,比如高纯度的 SiH4、 PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2 等,在 IC 生产环节中,使用 的电...
电子气体是工业气体的一个分支,指的是专门用于电子半导体领域的一类工业气体,电子气体是集成电路、显示面板、半导体照明、光伏等行业生产制造过程中不可或缺的关键性材料,可谓是电子工业的“血液”。根据用途和用量的差别,可分为电子大宗气体和电子特种气体。 电子气体分为电子大宗和电子特气 中国电子气体市场规模 资料...
国标《GB/T43772-2024 电子气体 二氧化碳》有了明确的描述，在样品测定时，电子级二氧化碳通过流量泵通入超纯水中，调节吸收时间和吸收体积，测定最终吸收液中的阴离子和铵根离子含量。常见的吸收方法有离线吸收、半自动吸收和全自动在线吸收。《GB/T43772-2024 电子气体 二氧化碳》中样品预处理装置示意图 2. 进样...
因此，电子气体也被称为半导体材料的“粮食”和“源”。在整个半导体产业中，电子气体在耗材成本中所占比例也高居第二，仅次于硅片。由于相关气体主要用于半导体产业，因此电子气体行业的景气度与半导体行业整体是高度一致的。下面两张图表反映了近年来中国电子气体的市场规模。可以看到增长趋势较为明显，其中中国电子气体...
一、含氟气体含氟气体是高纯特种电子气体中的重要一类，主要包括三氟化氮（NF3）、六氟化硫（SF6）、氟化氢（HF）等。这些气体在半导体制造过程中，广泛应用于清洗、蚀刻和沉积等关键工艺步骤。- **三氟化氮（NF3）**：NF3以其高纯度和稳定性著称，常用于清洗反应室和设备表面，去除工艺过程中产生的沉积物。其...
是市场规模仅次于衬底材料的第二大半导体制造用材料,占芯片制造材料成本的20%左右,包括大宗电子气体、离子注入气体、薄膜沉积气体[包括化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)、原子层沉积(Atomic Layer Deposition, ALD)气体和前驱体]、刻蚀/清洗气体、激光气体等,产品品种繁多,在半导体制造中被广泛应用于薄膜、刻...
电子特种气体（Special Gas）是指用于生产半导体、液晶、太阳能电池等各种电子产品时使用的特殊高纯气体，广泛应用于气相沉积、离子注入、光刻、刻蚀、掺杂、扩散等工艺，又被称为集成电路、液晶面板等的“粮食”；半导体器件的性能优劣与电子气体的质量息息相关，因此电子气体也被称为半导体制造的“血液”。第9名和远...
国内电子气体产业化进度很快,电子气体整个行业供应100多种气体,每个Fab大概需要60种到70种。金宏气体的供应能力经过不断研发,电子气体产品线也越来越丰富。 从技术角度来看,电子气体提纯工艺并不复杂。第一种方法是通过膜吸附掉杂质,第二种方式是用分子筛去除杂质,第三是通过低温精馏把沸点不同的组分分开。所有气体类...