特种气体指半导体生产环节中,比如延伸、离子注进、 掺和、洗涤、遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体,也就是气体类别中的电子气体,比如高纯度的 SiH4、 PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2 等,在 IC 生产环节中,使用 的电子...
在整个半导体产业中，电子气体在耗材成本中所占比例也高居第二，仅次于硅片。由于相关气体主要用于半导体产业，因此电子气体行业的景气度与半导体行业整体是高度一致的。下面两张图表反映了近年来中国电子气体的市场规模。可以看到增长趋势较为明显，其中中国电子气体市场规模的增速还要更快一些。而在电子大宗气体和电子特种...
电子气体,多采用集中式供应,可分为大宗气体,包括氮气、氢气、氩气、氦气、氧气、二氧化碳等;电子特种气体,包括笑气、氨气、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氢、八氟环丁烷、甲烷等气体。 电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料,它们广泛应用于薄...
电子气体是工业气体的一个分支,指的是专门用于电子半导体领域的一类工业气体,电子气体是集成电路、显示面板、半导体照明、光伏等行业生产制造过程中不可或缺的关键性材料,可谓是电子工业的“血液”。根据用途和用量的差别,可分为电子大宗气体和电子特种气体。 电子气体分为电子大宗和电子特气 中国电子气体市场规模 资料...
电子气体是市场规模仅次于衬底材料的第二大半导体制造用材料,占芯片制造材料成本的20%左右,包括大宗电子气体、离子注入气体、薄膜沉积气体[包括化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)、原子层沉积(Atomic Layer Deposition, ALD)气体和前驱体]、刻蚀/清洗气体、激光气体等,产品品种繁多,在半导体制造中被广泛应用于...
一文盘点60种气体电子气体、33种湿电子化学品、83种光刻胶、6种电子封装材料详细分类及市场格局
据悉，电子级硅烷气是一种高纯度的电子特种气体，不仅应用于电子半导体、光伏能源、显示面板等领域，更是高性能锂电池硅碳负极材料、颗粒硅最主要的原材料，对提升新能源电动汽车续航能力和降低光伏产业成本具有重要意义。“项目投产后，年产能达5000吨，预计年产值20亿元，将大幅提升我国电子级硅烷气的自主供应能力。”...
编者按：电子气体是芯片制造中的关键材料，近几年在产业新闻中多次与卡脖子相挂钩。在2024 IC NAN SHA大会上，电子气体生产商金宏气体副总经理康立忠关于电子气体国产化进展和技术特点做了演讲，现将其演讲整理刊发，以飨读者。金宏气体副总经理康立忠 电子气体广泛应用于半导体制造的薄膜、光刻、刻蚀、掺杂、气相沉积及...
编者按:电子气体是芯片制造中的关键材料,近几年在产业新闻中多次与卡脖子相挂钩。在2024 IC NAN SHA大会上,电子气体生产商金宏气体副总经理康立忠关于电子气体国产化进展和技术特点做了演讲,现将其演讲整理刊发,以飨读者。 金宏气体副总经理康立忠 电子气体广泛应用于半导体制造的薄膜、光刻、刻蚀、掺杂、气相沉积及扩...
电子气体是指具有电子级纯度的特种气体,主要分为电子大宗气体及电子特气,广泛应用在包括集成电路、显示面板、半导体照明和光伏等泛半导体行业。电子气体广泛应用于半导体制造的诸多环节,包括清洗、离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺,因此被称为芯片制造的血液。电子特种气体的质量直接影响晶圆厂制造元器件的具体技术指标...