【词语】:电子束 【注音】:diàn zǐ shù 【释义】:又称电子注。在真空汇集成束。可采用静电场聚焦,磁场聚焦等方法。电子显微镜和电视机就是利用电子束形成影像的。 导航 最近更改 随机页面 Wiki工具 特殊页面 更多 链入页面 相关更改 可打印版本 固定链接 页面信息 页面日志...
电子束用于光刻已有几十年的历史,几乎所有现代电子或离子显微镜,包括扫描电镜 (SEM)、扫描透射电镜(STEM)、聚焦离子束 (FIB) 和 SEM/FIB 双束,都可以轻松的添加光刻系统。 电子束光刻已经有60多年的历史了,几乎是与光学曝光同步发展起来的,主要标志性的时间有下面几条:1958年...
电子束固化是一种不需要传统溶剂固化涂料和油墨的方法。电子束固化产生的光洁度与传统的溶剂蒸发过程相似,但通过聚合过程实现光洁度。电子束加工也用于交联聚合物,使其更耐热、机械或化学应力。 电子束加工已用于医疗产品的灭菌和食品的无菌包装材料,以及对谷物、烟草和其他未经加工的散装作物进行虫害消毒和消灭活虫。 1...
电子束曝光(electron beam lithography)指使用电子束在表面上制造图样的工艺,是光刻技术的延伸应用。光刻技术的精度受到光子在波长尺度上的散射影响。使用的光波长越短,光刻能够达到的精度越高。电子束技术在半导体制造行业一直是重要的应用技术。本文就电子束技术作一个简单的图文介绍。
电子束与激光 3D打印技术又称增材制造技术,是一种以数字模型文件为基础,运用粉末状金属或塑料等可黏合材料,逐点逐层累积叠加形成三维实体的新技术。由于它对传统的工业流程、生产线、生产模式、产业链组合产生深刻影响,已成为新一轮科技革命和产业变革的重要驱动力之一。3D打印又分为金属3D打印与非金属打印。其中...
扬中市光扬电子仪器厂16年 月均发货速度:暂无记录 江苏 扬中市 ¥780.00成交21套 电子束演示器24053 阴极射线管带点粒子偏转高中物理实验教学仪器 江苏中标教学设备有限公司9年 回头率:30% 江苏 泰州市高港区 ¥1092.50 厂家供应 J24053型电子束演示器高中物理 实验器材 教学仪器 ...
蔡司公司是EUV光刻机唯一的光学镜头供应商,多项顶尖且复杂的技术需求,才导致EUV光刻机产量的不足,而电子束采用的是电子刻蚀,并非采用光源,因此是不需要光学镜头的。因此整体而言,搭载电子束技术的测量设备及检测设备,不仅能够有效地控制成本,还能有效的保证芯片的良品率,同时在精准度上也将大大提升,而详细...
在芯片制造方面,电子束硅片直写(EBL)一度被认为有望成为能在先进制程领域替代EUV光刻机技术,甚至还能动摇光学镜头在芯片制造领域的“卡脖子”地位。知名业内专家莫大康介绍,电子束波长较短,使其分辨能力远远超过光学镜头。据了解,EUV光刻机的波长为13.5nm,而100KeV电子束的波长只有0.004nm,波长短使其在...
1.电子束技术: 它分辨率极高,能做出最细线宽度为5~8nm的图,无法用于大规模生产器件,多用于制作掩膜及直接光刻器件。 2.光子束技术: 主要包括紫外光刻(0.5~0.8μm器件)、准分子激光光刻(0.18~0.13μm器件)、极紫外光刻(35~65nm器件)、激光图形发射器(0.2μm线宽)和X射线光刻(90nm器件)等。