利用激光和 FIB-SEM 技术对半导体进行激光烧蚀,可对 3D 封装器件、OLED 和其他大型几何形状样品进行 SEM 分析。 半导体几何形状的缩小使寻路分析变得越来越具有挑战性。这就需要增加资本支出,并对新设备施加更大的压力,以更快地达到应有的良率。 能够有效地将多个工作流程步骤合并为一个解决方案的系统为实验室提供了...
例如,高精度激光烧蚀可用于对医疗植入物的表面进行纹理化处理,以及选择性地去除医疗器械上的聚合物涂层。 在微电子封装中,激光烧蚀用于在封装在聚合物树脂中的系统级封装 (SiP) 器件周围“挖沟”。 这是在切割(分离成单独的器件)之前完成的。 这些应用所涉及的聚合物种类繁多,加上对加工速度和其他因素的不同要求,...
1. 吸收:物质对激光的吸收率取决于其物理性质和激光波长。不同物质对不同波长的激光有不同的吸收率,因此激光与物质相互作用时,物质吸收激光能量并将其转化为热能,导致物质表面的温度升高,产生烧蚀。 2. 能量密度:激光的能量密度也是影响烧蚀的重要因素。高能量密度会使物质表面温度迅速升高,产生更强烈的烧蚀效应。
首先,激光烧蚀的原因之一是激光的能量密度过高。激光束的能量密度是指激光束单位面积上携带的能量,当激光束的能量密度超过物体所能承受的范围时,就会发生烧蚀现象。高能量密度激光束的烧蚀效应更加明显,容易引起物体表面的烧灼和熔化。 其次,激光烧蚀的原因之二是激光束的持续时间过长。激光束的持续时间是指激光束作用...
激光烧蚀系统是一种用于力学、地球科学、工程与技术科学基础学科领域的仪器，于2009年11月11日启用。技术指标 特征分析面积小(5μm ),宽泛的剥蚀斑(5~300mm) 良好的光学分辨率(5μm )。主要功能 高效烧蚀最困难的样品，如地质样品、基质矿物等固体样品。与ICP-MS联用可以实现固体样品原位微区的微量元素测试。
激光烧蚀电感耦合等离子体质谱法又称激光取样等离子质谱（LS-ICPMS）、激光探针等离子体质谱（LP-ICPMS），是将电感耦等离子体质谱法（ICPMS）与激光取样相结合而形成的一种高灵敏度的多元素快速分析新技术。释文：又称激光取样等离子质谱（LS-ICPMS）、激光探针等离子体质谱（LP-ICPMS），是将电感耦等离子体质谱法...
烧蚀聚酰亚胺(Kapton TM),它是由均苯四甲酸二酐和氧-二苯胺的缩合形成的。这种材料的配方如图S.6所示。 它在高达400°C的空气中加热极其稳定,并且不受任何常见溶剂的侵蚀。它对紫外激光光子的敏感性可归因于最先被消除为CO四个羰基。 氮被检测为CN,最终导致HCN。其余分子富含碳,氢含量极低,以至于只能分解为小...
激光烧蚀是一种极其精确的清洁技术,通过聚焦的激光束去除材料表面的微小部分。激光照射表面以去除原子,可用于在非常硬的材料上钻出极小、深的孔,在表面上产生薄膜或纳米颗粒,以微米和纳米控制的方式制备表面等等。 然而,激光烧蚀也存在一些问题。例如,它可以产生的微碎片以非常难以清除的方式融合到表面上,过度处理会导...
纳秒激光烧蚀是以脉宽为10-9—10-10s的激光作为光源来将材料表面烧蚀,已经被广泛应用于微加工、外科手术、X射线激光、生物分子质谱以及一些艺术品修复/清洁等领域;对激光烧蚀产生的等离子体的光学/光谱诊断是研究等离子体动力学的主要方法之一。 纳秒激光烧蚀技术的应用 1.1 激光烧蚀光谱(LAS、LIBS)技术的应用 近年来...