综合多种因素考虑,认为 圆点传输线模型是一种较好的测量金属半导体接触电阻率的方法. 关键词:金属一半导体接触;接触电阻率;传输线模型 中图分类号:TN30407;TN30593文献标识码:A文章编号:lIX)3—353X(2008)02—0155—05 MeasurementandCalculationofSpecificContactResistancein Meta1.SemiconductorContacts LiHongjian,...
综合多种因素考虑 认为圆点传输线模型是一种较好的测量金属半导体接触电阻率的方法。关键词 金属 半导体接触 接触电阻率 传输线模型中图分类号 晒 文献标识码 文章编号 饥 眦 Ⅱ ・ 撕 昏 ’ 出 面 】Ⅵ — — 半导体器件在近十几年来取得了迅速发展 金属和半导体之间存在的接触电阻会影响半导体器件的噪声...
测量计算金属--半导体接触电阻率的方[J].Semiconductor Technology,2008,(02).doi:10.3969/j.issn.1003-353X.2008.02.017.李鸿渐;石瑛.测量计算金属-半导体接触电阻率的方法.半导体技术.2008.155-159李鸿渐,石瑛. 测量计算金属-半导体接触电阻率的方法[J].半导体技术,2008,(02).doi:10.3969/j.issn.1003-353X....
---测量计算金属_半导体接触电阻率的方法_李鸿渐封装、测试与设备Package,TestandEquipment测量计算金属-半导体接触电阻率的方法李鸿渐,石瑛(武汉大学物理技术与科学学院,武汉430072)摘要:如何测量、计算得到精确接触电阻值已凸显重要。介绍了多种测量计算金属-半导体欧姆接触电阻率的模型和方法,如矩形传输线模型、圆点传输线...
介绍了多种测量计算金属.半导体欧姆接触电阻率的模型和方法,如矩形传输线模型、圆点传输线模型、多圆环传输线模型等,对各方法的利弊进行了讨论,并结合最新的研究进展进行了评述和归纳。综合多种因素考虑,认为圆点传输线模型是一种较好的测量金属半导体接触电阻率的方法。关键词:金属.半导体接触;接触电阻率;传输线模型中...
李鸿渐 等 : 测量计算金属半导体接触电阻率的方法 到了非常广泛的应用[ 1320] 。 = 25 r , r’= 30 r , r = 45 r , 则其 φ (α) Δ 0 2 0 2 0 r0 和 ( ) (α) 13 环形传输线模型 CTLM r0 曲线如图5 所示 。 [21] 这是 Reeves 为使样品制作更方便而提出的 , 基本模型如图4 所示...
介绍了多种测量计算金属.半导体欧姆接触电阻率的模型和方法,如矩形传输线模型、圆点传输线模型、多圆环传输线模型等,对各方法的利弊进行了讨论,并结合最新的研究进展进行了评述和归纳。综合多种因素考虑,认为圆点传输线模型是一种较好的测量金属半导体接触电阻率的方法。关键词:金属.半导体接触;接触电阻率;传输线模型中...
电阻率半导体测量计算接触传输线金属 基金项目:国家自然科学基金资助项目(10675094,10205010,10435060)测量计算金属-半导体接触电阻率的方法李鸿渐,石瑛(武汉大学物理技术与科学学院,武汉430072)摘要:如何测量、计算得到精确接触电阻值已凸显重要。介绍了多种测量计算金属-半导体欧姆接触电阻率的模型和方法,如矩形传输线模型、...