依据颁布的标准,将无尘车间分为六级,依次是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级:一、1级:主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的要求为亚微米。二、10级:主要用于带宽小于2微米的半导体工业。三、100级:主要用于医药工业的无菌制造工艺等,这类洁净室大量应用于外科手术,集成器的制造以及对...