沉积物简介 沉积物亦可以由风（风成过程（eolian processes））及冰川搬运。沙漠的沙丘及黄土是风成运输及沉积的例子。冰川的冰碛石（Moraine）矿床及冰碛（Till）是由冰所运输的沉积物。简单的重力崩塌制造了如碎石堆、山崩沉积及喀斯特崩塌特色的沉积物。每一种类型的沉积物有不同的沉降速度，依据其大小、容量、...
01、沉积:“加法工艺” 在前几篇文章,我们一直在借用饼干烘焙过程来形象地说明半导体制程。在上一篇我们说到,为制作巧克力夹心,需通过“刻蚀工艺”挖出饼干的中间部分,然后倒入巧克力糖浆,再盖上一层饼干层。“倒入巧克力糖浆”和“盖上饼干层”的过程在半导体制程中就相当于“沉积工艺”。 ▲图1: 倒入巧克力糖浆后...
沉积作用:在条件适宜的地方发生沉积的作用。如流水搬运的物质在山谷的出口处、河谷转折处、入湖或入海处,因流速减慢而沉积。风的搬运物因风力减弱或受到某种方式的阻拦而堆积。 (一)机械沉积作用 机械沉积作用受重力支配。重的物质搬运距离近,先沉积;轻的物质搬运距离远,后沉积。如一般...
分选性:是指沉积物颗粒直径的均匀程度,不但流水沉积具有分选性,风力沉积也具有分选性。颗粒物的大小取决于流水和风的携带能力,风力越大、流水速度越快携带能力越强,沉积物颗粒物越大,反之越小。 风力搬运作用 蠕移 粒径较大的砂粒会随着风力的牵引作用,沿着地面发生滑动或者滚动。
是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处。但在原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子。简介 原子层沉积（Atomic layer deposition）是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底...
原子层沉积 (Atomic Layer Deposition, ALD)是一种基于化学气相沉积 (CVD) 的高精度 薄膜沉积 技术,是将物质材料以单原子膜的形式基于化学气相一层一层的沉积在衬底表面的技术。将两种或更多种前体化学品分别包含被沉积材料的不同元素,一次一种地分别引入到衬底表面。每个前体使表面饱和,形成单层材料。 原子层沉积原...
薄膜沉积是在半导体的主要衬底材料上镀一层膜。这层膜可以有各种各样的材料，比如绝缘化合物二氧化硅，半导体多晶硅、金属铜等。从半导体芯片制作工艺流程来说，位于前道工艺中。随着集成电路的发展，晶圆制造工艺不断精细化，芯片结构的复杂度也在不断提高，需要在更微小的线宽上制造。制造商要求制备的薄膜品种也随之...
沉积体系(Depositional system)的概念最早由Fishe rBrown和MCGowen等,于20世纪60年代后期提出,并不断应用于沉积盆地分析中。不同的学者对沉积体系内涵的表述略有差异,Fisher和MC Gowen(1967,1969)认为沉积体系是相关的相、环境及伴随过程的组合;李思田(1992)认为沉积体系是成因上被沉积环境和沉积过程联系起来的相的三...
1. 原子层沉积的基本原理 物理化学基础 原子层沉积（Atomic Layer Deposition, ALD）是一种基于表面自限制反应的薄膜沉积技术。其原理依赖于两个或多个前驱体在反应室中交替引入，通过化学吸附和反应形成原子级别的薄膜。ALD的关键在于每次反应都是自限制的，即每次化学吸附会饱和表面，不会发生过度反应，从而实现对薄膜...