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FOUP,即前端开放晶圆盒,专为12寸晶圆设计,是Fab厂中自动化传送系统的重要部分。它能够确保每25片的晶圆在传送过程中免受外界微尘的污染,从而提高良率。FOUP采用低释气、低吸湿的材料,有效防止有机化合物释出,污染晶圆。此外,其优秀的密封性和充气功能为晶圆提供了一个低湿度的环境。
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