压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成。采用单晶硅片为弹性元件，在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺，在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻，并将电阻接成桥路，单晶硅片置于传感器腔内。当压力发生变化时，单晶硅产生应变，使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成正比的变化，再由桥式电路获相应的电压输出信号...
压阻效应(Piezoresistivity) 压阻效应(Piezoresistivity),其名称源自希腊语“piezein”,意思是施加压力,该现象由开尔文勋爵于 1856 年首次发现,是电阻随着机械应力而变化的现象。 压阻效应的第一个应用是金属应变计来测量应变,从中推断出其他参数,如力、重量和压力。大多数金属的电阻变化是由于尺寸变化造成的:在压力下,...
前几节讲述了半导体中应力的基本情况,这节我们讲两类应力诱导的物理效应:压阻效应和压电效应。 压阻效应 压阻效应是指材料在外力的作用下引起电阻率的改变。压阻系数( π )定义如下:(1)π=ΔR/RT 其中R 是原始半导体样品的电阻 R=ρlωh , ΔR 表示电阻的改变, T 是外加应力。ΔR 与R 的比率可以如下...
压阻效应的基本原理是材料的电阻随着应变的产生而发生变化。在导电材料中,电流的通过是由载流子的运动和碰撞相互作用而实现的。当材料受到应力时,载流子的运动状态会发生改变,导致电流通行的阻力发生变化,进而导致电阻的变化。 根据电流的传导机制不同,压阻效应可分为两种类型:金属材料的效应和半导体材料的效应。 在金属...
压阻式传感器piezoresistance type transducer是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量（如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度）的...
压阻压力传感器是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。它又称为扩散硅压阻压力传感器，它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力，而是直接通过硅膜片感受被测压力的。主要特点 1. 灵敏度高：...
压阻效应的公式可以表示为:ΔR/R = αP,其中ΔR/R是电阻变化率,α是压阻系数,P是外部压力。这个公式表明,电阻的变化率与外部压力成正比,比例系数为压阻系数。 四、压阻效应公式的应用 压阻效应公式在压力传感器、压力计和应变计等领域有着广泛的应用。下面举几个具体的例子: 1.压力传感器:在压力传感器的设计中...
压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成。采用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺,在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。
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