压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成。采用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺,在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。当压力发生变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成正比的变化,再由桥式电路获相应的电压输出信号。
压阻压力传感器是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。它又称为扩散硅压阻压力传感器，它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力，而是直接通过硅膜片感受被测压力的。主要特点 1. 灵敏度高：...
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压阻式压力传感器 第二节 压阻式传感器 固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种效应称为压阻效应。半导体材料的这种效应特别强。利用半导体材料做成的压阻式传感器有两种类型：一种是利用半导体材料的体电阻做成的粘贴式应变片；另一类是在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成扩散电阻，称扩散型压阻传感器。压阻...
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一、什么是压阻式压力传感器? 压阻式压力传感器是一种常用的压力传感器。它利用电阻的变化来转换压力信号,从而实现对压力的测量。通常由弹性变形元件和阻性传感器两部分组成。 二、性能指标 1. 测量范围 测量范围是指传感器能够测量的最大和最小的压力范围。选择...
一、压阻式压力传感器的工作原理压阻式压力传感器由压阻元件、弹性元件和测量电路等部分组成。压阻元件通常采用半导体材料，如单晶硅、多晶硅等，因为这些材料的压阻效应较为显著。当压力作用在弹性元件上时，弹性元件会发生形变，将压力传递给压阻元件。压阻元件受到压力作用后，其电阻值会发生相应变化，通过测量电路将电阻值...
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