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吴春生表示，公司8英寸电阻法碳化硅单晶炉由于解决了碳化硅“盲盒生长”的瓶颈，让工艺开发人员能够更快更准确地验证工艺和晶体实际生长之间的对应关系，大大缩短了工艺开发周期，为后期8英寸衬底量产的可靠性提供了扎实的设备基础，将有助于快速推动8英寸衬底商业化量产的进度。半导体材料设备行业技术壁垒高、研发周期长、...
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一、单晶炉和多晶炉的工作原理 单晶炉和多晶炉都是用于生产硅晶片的熔炼炉。它们之间最大的区别在于结晶方式的不同。 单晶炉通过在熔融硅中降低温度形成硅晶,来制备高纯度单晶硅片。在单晶炉中,硅原料被加热至高温,并在炉内熔化,在高温条件下通过运用多种方法控制晶体生长的方向和速度,使硅原料逐渐结晶成为...
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。 一、单晶炉的构成编辑提拉头:主要由安装盘减速机籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成 1.副室:主要是副室筒以及上下法兰组成 ...