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吴春生表示，公司8英寸电阻法碳化硅单晶炉由于解决了碳化硅“盲盒生长”的瓶颈，让工艺开发人员能够更快更准确地验证工艺和晶体实际生长之间的对应关系，大大缩短了工艺开发周期，为后期8英寸衬底量产的可靠性提供了扎实的设备基础，将有助于快速推动8英寸衬底商业化量产的进度。半导体材料设备行业技术壁垒高、研发周期长、...
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单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。 一、单晶炉的构成编辑提拉头:主要由安装盘减速机籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成 1.副室:主要是副室筒以及上下法兰组成 ...
松瓷机电此次推出的新一代单晶炉主要通过优化动静态热场，智能控制热场温度的方式，有效抑制了硅液中的氧杂质，提高炉体排杂能力，实现了降氧效果升级，降氧率达到40%-60%，大幅提高了晶体整体品质。由于不额外增加超导磁场，其设备综合成本低，性价比极高。“新一代单晶炉可以让晶体氧含量达到6PPM-7PPM，少子...