干燥方面,传统上使用的方法是旋转干燥(Spin Dry)和IPA(异丙醇)干燥。前者将晶圆放入一个特殊的盒子中,并高速旋转以甩掉水分,该方法设备结构简单,价格低,吞吐量高,但需要灵活性高、能产生静电的零部件。后者是用挥发性IPA蒸汽替换晶圆表面的水分,使之干燥,好处是有利于图形的干燥,但需要使用易燃化学品,且容易留下...
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