当Cassette 已经完全脱离水面并完成脱水后,快排阀门打开,将干燥水槽排空,同时,打开干燥水槽侧部的排风,将槽内残存的 IPA 气体抽走。氮气阀门关闭,Dryknife 再次上升将晶片托起,锁紧气缸旋转解锁,Dryknife 下降将晶片放入干燥后的 Cassette 内。平移机构移动,干燥腔打开,机械手将干燥后 Cassette 及晶片取出,干燥过程结...
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