型号 URE-2000/35 URE-2000/35 型紫外单面光刻机1.技术特征——非常适合工厂(效率高,操作傻瓜型,自动化程度高)和高校教学科研(可靠性好,演示方便)采用自动找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能,自动分离对准间隙和消除曝光间隙,采用 350W 进口(德国)直流汞灯,可调节光的能量密度。
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URE-2000/35L 型紫外单面光刻机 主要技术参数: (1)曝光面积:100mm×100mm; (2)照明不均匀性: ≤3%( Ф100mm 范围); (3)分辨力:1.0 μm(胶厚 2.0 μm 的正胶,365nm 波长) (4)对准精度:≤±0.8μm; (5)掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸; ...
发货地 广东深圳 商品类型 机械设备 、 电子产品制造设备 、 电子元件成型设备 商品关键词 URE、 2000、 35紫外单面光刻机、 紫外单面光刻机 商品图片 商品参数 品牌: 中科光电 是否进口: 否 尺寸: 1200mm(长)x900mm(宽) x1750mm(高) 加工定制: 是 自动手动: 自动 价格说明 价格:商品在平台的...
光刻机产品名称紫外中国科学院电子专用设备光电技术制作设备研制单位:中国科学院光电技术研究所产品介绍:URE-2000/35NI紫外纳米压印光刻机是中国科学院光电技术研究所微电子专用设备研发团队近年来在微纳制作设备领域里的又一力作。该设备兼具传统接近接触式光刻以及高分辨力压印两大功能,能够跨尺度的实现微米到纳米量级...
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URE-2000/35型紫外光刻机 简要描述:URE-2000/35型紫外光刻机,采用三柔性支点实现高精度自动调平;真空接触自动曝光;样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制。 产品型号: 厂商性质:生产厂家 更新时间:2024-06-04 访 问 量:6863 产品咨询联系我们...