对实际软X射线光学多层膜中普遍存在的主要非理想因素(层厚漂移,界面粗糙度和界面扩散)进行了定量描述基于动力学光学理论,计算了上述非理想因素对软X射线光学多层膜的掠入射镜向反射率的影响结果表明:层厚的随机漂移使反射率,尤其是高级反射率降低;累积层厚漂移破坏了多层膜的长程有序性,使反射峰展宽;界面扩散和界面...