The TWINSCAN NXT:2000i is a high-productivity, dual-stage immersion lithography tool designed for volume production of 300 mm wafers at advanced nodes. The system is equipped with an in-line catadioptric lens design, with a numerical aperture (NA) of 1.35 – the highest in the industry. This...
TWINSCAN NXT:2000i 包括一个 1.35 NA 193 nm 折反射投影镜头,可实现低至 40 nm(C-quad)和 38 nm(偶极子)的生产分辨率,以及支持全 26 x 33 mm 视场大小、4X减少和与现有设计的标线兼容性。 FlexRay Prepared Illuminator 扩展了传统和离轴照明的范围,以实现用于低 k1 成像的高级瞳孔整形。 03. 成像性能 ...
据报道,荷兰最新芯片出口管制措施9月1日生效,ASML最新表示,目前ASML已向荷兰政府提出TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统的出口许可证申请。“荷兰政府也已经颁发了我们截至9月1日所需的许可证,允许ASML今年继续发运TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统。” ASML表示,在新的出口管...
6月底荷兰出口管制新规新增了可用于制造7nm的TWINSCAN NXT:2000i、NXT:2050i 及 NXT:2100i等深紫外光(DUV)浸入式光刻设备。这一系列设备最高可支持5nm工艺。关注张江高科
ASML, the company known for producing equipment for the manufacture of processors and semiconductors at foundries, has started to ship its new Twinscan NXT:2000i DUV (Deep Ultra Violet) scanner that matches overlay performance of the company’s Twinscan NXE:3400B EUV (Extreme Ultra Violet) ...
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荷光刻机巨头获准年内继续对华出口。荷兰最新芯片出口管制措施今天生效,目前ASML已向荷兰政府提出TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统的出口许可证申请。“荷兰政府也已经颁发了我... 快讯正文 荷光刻机巨头获准年内继续对华出口。荷兰最新芯片出口管制措施今天生效,目前ASML已向荷兰政府提出TWINSCAN NXT:2000...
震惊!G产最新DUVI2代 达到TWINSCAN NXT:2100i 水平 只看楼主 收藏 回复 焦点围观 FT-D2000 6 某大佬透露 第二代DUVI 套刻精度1.3NM 每小时 310 ,这么牛逼吗 -yuto- 吧主 14 这个就是我昨天看到的消息。 幸运年 麒麟9010 11 先说消息来源 cswdwg 麒麟980 7 哪里看到的消息? MrTx FT-D...
作者: 全部讨论 “荷兰政府也已经颁发了我们截至9月1日所需的许可证,允许ASML今年继续发运TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统。” →这是重点。 →市场之前说2000i Duv不能卖,现在继续卖了。 码农平头哥 广州小乞丐 萌萌记
TWINSCAN NXT:2000i、 TWINSCAN NXT:1980Di。 ASML表示,出口管制条例只涉及部分最新DUV型号, 包括TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统。 ASML还表示,上述规定是在9月1日生效。 ● TWINSCAN NXT:1980Di不受影响。 TWINSCAN NXT:1980Di的分辨率可以达到≤38nm。