从成像角度来分析,其与前面两者最大的区别是:TEM和HRTEM的光照射范围是面,而STEM是一点一点的扫射,然后再收集。有个不合时宜的比喻:一为手电筒光源,一为激光器光源。很明显,激光器更精细地刻画了其结构。前文提到STEM还有明场与暗场。STEM常常和HAADF连用。HAADF属于高角度环状暗场探测器。示意图见图7。图7...
HRTEM为相位衬度像,它是参与成像的所有衍射光束和透射光束由于相位差所产生的干涉图像,用于观察晶体内部结构、原子排布和许多精细结构(比如位错、孪晶等)能够得到晶格条纹像,结构像和单个原子像这样分辨率较高的图像信息。高质量HRTEM像的拍摄,需要较高要求的待测样品:1)样品足够薄(弱相位近似),厚度小于10 nm...
图3-2 金属层的STEM-HAADF像和EDS元素分析 此颗4nm芯片的M0层材料为Co,与14nm和7nm工艺的M0层的W...
TEM:可用来观察材料的微观形貌和结构,比如纳米催化材料的轮廓外形(包含尺寸)。HRTEM:高分辨率的TEM,可用来观察晶面间距,晶格间距以及原子排布等。STEM:与TEM和HRTEM相比,STEM的光照射范围是经一点一点的扫射之后再收集。透射电镜是形貌表征科研工作中必不可少的组成部分,下面就是给出一些国内外经典论文透射电镜表...
HRTEM则提供了更高的分辨率,可达原子级别,可用于揭示晶体内部结构和原子排布。但需要极薄的样品和精确的欠焦调整,以获得准确的相位衬度像。虽然理论上能观察单个原子,但在实际应用中可能需要软件辅助,如图6所示。STEM采用点扫描方式,比前两者更精细,类似于激光光源。它结合HAADF-STEM,能收集高角散射...
1. 线扫和元素分布这两种分析方法只是STEM两大特色。但STEM同样也可以看到晶面间距等信息,模式不同、分辨率会不同。 2. 纳米晶结构的表征方法众多,透射电镜只是其中之一,常常需要结合其他表征(比如:XRD、IR)等来确定材料组成和结构。 第二例是近期Younan Xia教授发表在Nano Le...
HRTEM 是近似平行光照射样品,电子束是静止的,STEM HAADF 扫描透射 的高角度环形暗场像,是探头最外面...
STEM成像不同于平行电子束的TEM,它是利用聚集的电子束在样品上扫描来完成的,与SEM不同之处在于探测器置于试样下方,探测器接收透射电子束流或弹性散射电子束流,经放大后在荧光屏上显示出明场像和暗场像。 STEM分析图 入射电子束照射试样表面发生弹性散射,一部分电子所损失能量值是样品中某个元素的特征值,由此获得能...
STEM HAADF像、EDX与EELS像 4、HRTEM(高分辨像) 用于观察晶体的内部结构,原子排布和位错,孪晶的精细结构。高分辨像即相位衬度像,它是参与成像的所有衍射束和透射束之间由于相位差所产生的干涉图像。 (a)Au-Pd核壳纳米棒的高分辨像及FFT变换图(相当于电子衍射图)(b)a中的局部放大图 e-j N-CNT组装的中空...