根据扫描的方式, EDS 可分为点分析、线扫描及面扫描三种:EDS 点分析是将电子束固定于样品中某一点上,进行定性或者定量的分析。该方法准确性较高,用于显微结构的成分分析。定量分析样品中含量较低的元素时,常用点分析的方法。图 2 所示为陶瓷样品的 EDS 点分析结果。 图2. 陶瓷样品的 EDS 点分析结果 EDS 线...
能谱仪(EDS, Energγ Dispersive Spectrometer)以X射线为信号源分析微区成分分布。图1也显示,这几种信号源的深度不同,SE最浅,BSE次之,X射线最深。不同信号源的逸出深度可以解释同样条件下SE、BSE和EDS成像的空间分辨率差异。
相比于TEM晶格像中肉眼所见的“亮点”仅反应周期性变化,而HAADF像中的亮点反应的是原子的实际占位。 图2:Si典型TEM晶格像(左)和HAADF原子像(右) STEM应用 STEM-EDX技术:常规的SEM-EDX技术主要针对块状样品进行成分分析,但由于“梨形区”的存在,EDS空间分辨率远比SEM的分辨率低,往往无法胜任纳米结构的成分分析。而...
图2a, b是低倍率HAADF-STEM图像,显示分散在介孔沸石上的均匀大小的金属纳米颗粒。图2c是从b中红框处获得的EDS光谱,表明在同一粒子中同时存在Pt和La元素,图2d展示了金属纳米粒子的AR-HAADF-STEM图像,显示了具有L12超晶格的Pt3La有序合金结构。图2e是...
它通过聚焦电子束扫描非常薄的样品并并行收集各种信号来提供高分辨率图像和光谱数据。在 STEM 中获取的最常见信号是明场 (BF)、环形暗场 (ADF) 和高角度环形暗场 (HAADF) 图像。该技术通常与能量色散 X 射线光谱 (EDS) 和电子能量损失光谱 (EELS) 结合使用,以提供元素成分和电子结构的相关光谱图。
EDS是微区成分分析最为常用的一种方法，其物理基础是基于样品的特征X射线。当样品原子内层电子被入射电子激发或电离时，会在内层电子处产生一个空缺，原子处于能量较高的激发状态，此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺，从而释放出具有一定能量的特征X射线。图1展示了EDS原理示意图，特征X射线是...
透射电镜中的EDS、STEM 和EELS 的原理及应用 ——崔兰、林奎、郭前进 Contents 1. X射线能量色散谱基本原理 2. 扫描透射电子显微术 3. 电子能量损失谱基本原理及应用 透射电镜的TEM 成像模式 Beam Sample Obj Screen 透射电镜成像原理示意图 电子的弹性散射与非弹性散射 特征X射线 X射线能量色散谱 入射电子 ——...
2、损失电子 特征特征X X射线射线 弹性散射电子弹性散射电子 入射电子入射电子 原子序数衬度像原子序数衬度像 STEMSTEM 电子能量损失谱电子能量损失谱EELSEELS X X射线射线能量色散能量色散谱谱 EDSEDS X X射线的产生射线的产生 入射电子入射电子 散射损失能量的电子散射损失能量的电子 跃迁跃迁 特征特征X X射线射线...
透射电镜中的EDS STEM和EELS的原理及应用-天津大学
电镜测试中常用的元素分析方法:EDS、EELS、HAADF-STEM, 视频播放量 3910、弹幕量 1、点赞数 51、投硬币枚数 11、收藏人数 121、转发人数 11, 视频作者 电化学与电催化, 作者简介 王老师,中科院博士,华算科技全职电化学专家,本硕博15篇SCI,12年电化学科研经验!QQ群:83