SSB500系列步进投影光刻机基于先进的步进光刻机平台技术,采用大视场、大焦深、高产率性能的全折射式投影物镜,面向IC后道封装、MEMS/NEMS制造领域,适用于Flip Chip工艺中常用的金凸块(Gold Bump)、焊料凸块(Solder Bump)、铜柱 (Copper),以及晶圆级封装(WLP)的重新再布线层(RDL)等先进封装工艺;通过选配背面...
SSB500系列步进投影光刻机
上海微电子装备有限公司SSB500系列步进投影光刻机国家重点新产品:SSB500步进投影光刻机上海微电子装备有限公司(SMEE)主要致力于量产型IC制造、先进封装、3D-TSV、MEMS、OLED-TFT制造等领域的投影光刻机系列产品的研发、制造及销售,公司目前拥有600系列扫描光刻机、500系列步进光刻机、300系列步进光刻机、200系列投影...
根据附设外部供气设备能够提供较低的共振频率。 SSB500系列步进投影光刻机被动式空气弹簧的优势
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SSB500系列步进投影光刻机基于先进的步进光刻机平台技术,采用大视场、大焦深、高产率性能的全折射式投影物镜,面向IC后道封装、MEMS/NEMS制造领域,适用于FlipChip工艺中常用的金凸块(GoldBump)、焊料凸块(SolderBump)、铜柱(Copper),以及晶圆级封装(WLP)的重新再布线层(RDL)等先进封装工艺;通过选配背面对准模块,还...
国家重点新产品:SSB500步进投影光刻机上海微电子装备有限公,d(SMEE)t耍致力于量产型Ic制造、先进封装、3D—TSV、MEMS、OLED—TFT制造等领域的投影光刻机系列产品的研发、制造及销售,公司目前拥有600系列IC前道扫描光刻机、500系列先进上寸装步进光刻机、300系列LED步进光刻机、200系列平饭显示投影光刻机以及半导体...
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SSB500系列步进投影光刻机 星级: 2页 (论文)SSB500系列步进投影光刻机 星级: 2页 SSB系列步进投影光刻机(doc X页) 星级: 3页 步进投影光刻机 星级: 68 页 先进封装投影光刻机 星级: 2页 先进封装步进投影光刻机焦深研究 星级: 5页 先进封装步进投影光刻机焦深研究 星级: 5页 先进封装步进...
SSB500系列步进投影光刻机气浮式隔振器在设计里的关键优势是什么? 近些年,伴随着系列步进投影光刻机气浮式隔振器在各种设备中的应用,设计的产品规格和种类有了明显提升,给客户所产生的选择仍然十分满意。但是,设计更加可靠,功能配置也有新更新。那样,它在使用过程中会更安稳和稳定。因此,哪些方面的设计更优良、更科...