同样含有微量氧(大于百万分之三)的氨气用于磷化镓掺氮会带来深能级的氧杂质,使二极管发出的绿光(波长500nm)中掺杂有红外光(波长900nm)和红光(波长700nm),高纯氨中的油分等其它杂质对半导体器件的危害也相当大。 工业液NH3经加热气化在一级干燥脱油吸附器内除去绝大部分的H2O和所有的油分、有机物等其它复杂的杂...
通过傅立叶红外光谱(FTIR)和X光电子能谱(XPS)研究了SiH4-NH3-N2体系 在不同气体原料比情况下,低压化学气相沉积(LPCVD)SiNx薄膜的化学组成,利用原子力显微镜观察了SiNx薄膜的微观形貌,借助椭圆偏振仪研究了 薄膜的折射率.结果表明:当原料气中氨气与硅烷的流量之比(R)较小时(R4),获得近化学计量的的SiNx薄膜(x = ...
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(2003) Modeling Refraction Characteristics of Silicon Nitride Film Deposited in a SiH4-NH3-N2 Plasma Using Neural Network. IEEE Transactions on Plasma Science 31: pp. 317-323Kim, B., Han, S.S., Kim, T.S., Kim, B.S., Shim, I.J.: Modeling refraction characteristics of silicon nitride...
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高纯N2O通常采用医用N2O为原料,经过脱NH3、CO2、H2O、NO、NO2等工艺,然后进行低温精馏出去N2O中的O2、N2、H2等轻组分杂质,为了获得低温在精馏塔上还增加了压缩、节流循环系统,其产品最高可达5.8N级标准。 曾经我国高纯N2O供应严重不足,大多从韩国进口。北京某合资企业很早就有N2O生产线,但是只能生产医用级N2O;...
TVOC氮气N2氨NH3硫化氢H2S氧气O2甲烷CH4一氧化碳CO传感器探头 ￥666.00 获取底价 深圳市富凯特科技有限公司 商品描述 价格说明 联系我们 获取底价 商品描述 价格说明 联系我们 品牌 富凯特科技 特性 硅烷气体传感器 种类 气体传感器 系列 7X 精度 ≤±2%F.S 规格 33.5*31mm 分辨率 0.1PPM 应用领域 工...
为探索用激光和等离子体共同辅助化学气相沉积(CVD)过程以实现室温沉积的可能性,设计并制造了一种新型的CVD装置,实际进行了由SiH4-NH3-N2体系制取Si3N4膜的试验.结果表... 陆宗仪,安世民 - 《材料科学与工艺》 被引量: 12发表: 1997年 提高钨在半导体制造中填孔能力的研究 .CVD方法的钨可以由氯化钨,氟化钨和...
SiH4; He; PH3; NH3; N2; O2; CO; NH3; Ar; 等 成立时间: 2004-01-01 职员人数: 1000人 官方网站: 未提供 最新咨询更多 成都鑫双力机电设备有限公司 在2016-03-28 10:29:20.000 说::日本NERIKI品牌氢气瓶阀(附图) 联系方式 地址:四川 成都市 高新西区出口加工区科新路8号附8号 ...
采用等离子增强型化学气相沉积法(RF-PECVD),源气体为NH3/SiH4/N2的混合气体,在330℃的温度下沉积a-SiNx∶H薄膜。研究表明在反应气体流量一定的情况下,反应腔气压对薄... 谢振宇,龙春平,邓朝勇,... - 《液晶与显示》 被引量: 27发表: 2007年 SiH4与AB型卤素互化物之间的反转氢键 采用从头算方法对SiH4与AB...