团材料制备工艺与设备■‘j鱼堇鱼SiC(0001)面和(000—1)面CMP抛光对比研究潘章杰,冯玢,王磊,郝建民(中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津300222)摘要:研究了SiC衬底(0001)面和(000.1)面不同的CMP抛光特性。分别采用pH值为10-38和1.11的改性硅溶胶抛光液对SiC衬底的(0001)Si面和(000.1)C面进行对比抛光实验...
所以实际生产中,可以容易地产生重掺杂氮元素的N型4H-SiC晶锭,而生产重掺杂铝元素的P型4H-SiC现在依然存在挑战。 综上所述,物理气相传输法可以使用4H-SiC(000)多型体作为籽晶,在富C环境下把温度和压强控制在一定范围内,可以得到纯净的4H-SiC晶锭。 半导体工程师 半导体经验分享,半导体成果交流,半导体信息发布。...
实施方式所涉及的sic外延晶圆1,如图1(a)所示,具备小于4度的偏角衬底2和配置在衬底2上的sic外延生长层3。在此,sic外延生长层3以si化合物为si的供给源、以c化合物为c的供给源。在此,使载流子密度均匀性小于10%,且缺陷密度小于1个/cm2,si化合物与c化合物之c/si比具有0.7以上0.95以下的范围也可。 另外,实施...
(6)将x射线定向仪的探测器固定在(000y)面发生布拉格衍射位置处,测量a'o、b'o、c'o、d'o方向的衍射角,此时,平行于晶体偏向的方向衍射角会发生变化,变化值为晶体的偏角,而垂直于晶体偏向的方向不会发生变化,由此可知a'o、b'o、c'o、d'o方向的理论衍射角。若实际测得的a'o、b'o、c'o、d'o方向衍射...
Planar n-channel MOSFETs have been fabricated on 4H-SiC (11-20), (0001) and (000-1) faces by using oxidation in N2O ambient. The relationship between the M... Y Kanzaki,H Kinbara,H Kosugi,... - 《Materials Science Forum》 被引量: 10发表: 2004年 Study of electron mobility in 4H-...
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Randy Economy, the senior adviser and official media spokesman forRecall Gavin 2020, told Fox News on Saturday that the campaign has received around 1,509,000 signatures -- more than the required amount. Organizers said they expect to have 1.6 million signatures by Sunday." foxnews ...
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图1是示出将sic单晶1沿着在通过俯视中心的第一方向上延伸的直线切割后的切割面的一例的示意图。第一方向能够设定任意的方向。在图1中,将第一方向设为[1-100]。在图1中,上侧是[000-1]方向,即在与<0001>方向垂直地进行了切割时出现碳面(c面,(000-1)面)的方向。以下,以将第一方向设为[1-100]的情况为...
All companies have a SIC code, though some may not know it. That is, their business can be categorized by one of the more than 1,000 SIC codes that are in existence. Every public company has a SIC code and uses it when filing certain reports to government agencies including the Securiti...