SEM-EDS通常指的是结合了扫描电子显微镜(SEM)和能量散射光谱仪(EDS)的组合仪器。以下是其详细介绍: 扫描电子显微镜(SEM) 用途:用于观察样品表面微观形貌。 工作原理:利用聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号(如二次电子、背散射电子等)来调制成像。 特点:具有分辨率高、景深大、图像立体感强等特点。 应用领域:广泛应用于材料科学、生