原理上没有区别 temedx 单单从定量水平来说,SEM-EDS比TEM的EDS要精准,因为SEM的EDS可以用标样校准,经过校准的精确度可以在千分之几,而TEM无法制作EDS标样,所以只能做无标样定量计算,是半定量的。但TEM的优势在于,可以对极小的微区分析,场发射TEM可以做1 nm微区的元素分布。所以各有优势,各取所需即可,猜...