SEM中的聚焦透镜及物镜是通过电磁场使电子发生聚焦,因此也称电磁透镜。整个电子束聚焦系统的作用即是聚焦电子枪产生的电子束,然后扫描线圈控制电子束在样品表面进行扫描。当光束在 X 和 Y 方向上扫描样品时,会… 阅读全文 SEM扫描电子显微镜基本知识以及使用方法(二)...
电子束聚焦系统主要包括聚焦透镜,物镜,扫描线圈以及物镜的孔径(类似于光学显微镜中的光圈)。SEM中的聚焦透镜及物镜是通过电磁场使电子发生聚焦,因此也称电磁透镜。整个电子束聚焦系统的作用即是聚焦电子枪产生的电子束,然后扫描线圈控制电子束在样品表面进行扫描。当光束在 X 和 Y 方向上扫描样品时,会产生并二次电子和...
SEM的基本结构包括电子枪、聚焦系统（包括电磁透镜、物镜和扫描线圈）、真空系统以及样品室。电子枪是核心，它通过加热或场发射产生电子束，如热电子枪（如钨丝或LaB6）和场发射电子枪（如FEG或肖特基场发射）。聚焦系统则负责电子束的聚焦和扫描，确保图像的清晰度。真空系统确保了电子束的纯净，通常采用...
而在样品放入SEM前,需要将样品腔室通风,让空气进入腔室,如此才能打开舱门,放入样品。将样品放入载物台上后,再将样品室抽为真空。 高真空模式是 SEM 的一般操作模式。高真空状态可以使电子束在到达样品之前的散射以及能量损失最小化。使散射最小化非常重要,因为电子束的散射或能量衰减会增加达到样品上的光斑尺寸,并...
电子束聚焦系统主要包括聚焦透镜,物镜,扫描线圈以及物镜的孔径(类似于光学显微镜中的光圈)。SEM中的聚焦透镜及物镜是通过电磁场使电子发生聚焦,因此也称电磁透镜。整个电子束聚焦系统的作用即是聚焦电子枪产生的电子束,然后扫描线圈控制电子束在样品表面进行扫描。当光束在 X 和 Y 方向上扫描样品时,会产生并二次电子和...
然后登录实验室的电脑,用你自己的账号或者你导师的账号,就可以使用SEM啦。 一、放气,安置样品。 带上实验室专用手套,将样品通过电胶布或者别的导电物固定在样品台上,然后在SEM控制电脑的主页上点vent。在舱门打开前,SEM的样品室处于真空状态,是为了保护里面的探测器等设备。因此需要先vent充入空气,才能打开舱门。然...
电子枪用来产生电子束,之所以叫枪,是因为其产生的电子的速度很快,接近光速。电子枪位于SEM的顶部,典 型的电子枪由灯丝、一个中心有洞U型帽和阳极三部分组成,如下图所示。灯丝用来产生电子;U型帽中心的洞用来过滤飞向其它地方的电子,使初步形成一道向下运动的电子束;阳极用来加速电子并且约束电子的运动轨迹。从而使得产...