RIE-230iP是以电感耦合等离子体为放电方式,等离子体(ICP)刻蚀设备高速进行各种材料的超精细加工的负载锁定型ICP蚀刻系统。该系统通过采用龙卷风式线圈电,高效地产生稳定的高密度等离子体,可对硅及各种金属薄膜和化合物半导体进行高精度的各向异性蚀刻。 详细介绍 1. 产品概述 RIE-230iP是以电感耦合等离子体为放电方式,...
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