RIE-230iP是以电感耦合等离子体为放电方式,等离子体(ICP)刻蚀设备高速进行各种材料的超精细加工的负载锁定型ICP蚀刻系统。该系统通过采用龙卷风式线圈电,高效地产生稳定的高密度等离子体,可对硅及各种金属薄膜和化合物半导体进行高精度的各向异性蚀刻。 详情介绍 1. 产品概述 RIE-230iP是以电感耦合等离子体为放电方式...
RIE-230iP是以电感耦合等离子体为放电方式,高速进行各种材料的超精细加工的负载锁定型ICP蚀刻系统。该系统通过采用的龙卷风式线圈电,高效地产生稳定的高密度等离子体,可对硅及各种金属薄膜和化合物半导体进行高精度的各向异性蚀刻。此外,ø230mm的托盘可同时处理多种化合物半导体。 2. 设备用途/原理 GaN、GaAs、InP...
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SAMCO ICP刻蚀机RIE-230iP是以电感耦合等离子体为放电方式,高速进行各种材料的超精细加工的负载锁定型ICP蚀刻系统。该系统通过采用独特的龙卷风式线圈电极,高效地产生稳定的高密度等离子体,可对硅及各种金属薄膜和化合物半导体进行高精度的各向异性蚀刻。此外,ø230mm的托盘可同时处理多种化合物半导体。 主要特点和优点...
SAMCOICP刻蚀机RIE-230iP是以电感耦合等离子体为放电方式,高速进行各种材料的超精细加工的负载锁定型ICP蚀刻系统 SAMCO二手ICP刻蚀机RIE-230iP现货供应 产品详情 SAMCO ICP刻蚀机RIE-230iP是以电感耦合等离子体为放电方式,高速进行各种材料的超精细加工的负载锁定型ICP蚀刻系统。该系统通过采用的龙卷风式线圈电极,高效地...
RIE-230iP是以电感耦合等离子体为放电方式,等离子体(ICP)刻蚀设备高速进行各种材料的超精细加工的负载锁定型ICP蚀刻系统。该系统通过采用龙卷风式线圈电,高效地产生稳定的高密度等离子体,可对硅及各种金属薄膜和化合物半导体进行高精度的各向异性蚀刻。 详细介绍 1. 产品概述 RIE-230iP是以电感耦合等离子体为放电方式,...