绝缘介质层和信号线构成 MEMS 电容式开关,将直流电压通过偏置线施加到金属桥上,使金属桥与 CPW 信号线上存在电压差,由此平行电容极板间产生静电力,驱使金属桥向下弯曲,桥与 CPW 信号线间的电容发生变化,传输信号的传播常数亦发生变化,从而改变入射波的相移....
除了插入损耗和失真之外,MEMS开关为此应用带来的另一个关键优势是其能够传输真正的直流信号。这意味着,在典型RF仪器仪表衰减器开关应用中开关不会限制低频工作,使得仪器仪表能够在必要时传递直流偏置电压。ADGM1304器件的物理尺寸为4 mm × 5 mm × 0.95 mm,与传统的机电继电器开关解决方案相比,它大幅减小了印刷...
RF MEMS是MEMS(微机电系统)与RF(射频)技术相结合的一门新技术, MEMS器件具有体积小、易集成、功耗低、可靠性高等优点,可代替传统无线通信系统中的半导体器件。RF MEMS不仅可以以器件的方式应用于电路,例如MEMS开关、MEMS电容、MEMS谐振器;还可以将单个器件集成到同一芯片组成组件和应用系统,例如滤波器、压控振荡器、...
RF MEMS开关是一种小型微机械开关,具有低功耗,可以使用传统的MEMS制造技术生产。它们类似于房间里的开关,通过打开或关闭接触点来传导信号。 在RF MEMS设备的情况下,开关的机械部件仅有几微米大小。与普通开关不同的是,RF MEMS开关传导的信号处于射频范围内。 一、RF开关技术 可以使用许多不同的技术来实现RF开关。有...
接触式MEMS开关通过金属直接接触形成信号通路,主要应用于低频段。这类开关在微波传输的较高频段存在寄生效应,但其金属接触结构在低频段表现良好。接触式开关根据信号传输线的导通方式分为串联和并联两种类型,二者在开关原理上相似,但在导通机制上存在差异。RF MEMS开关在当前的发展中,已经取得了显著进步,...
1 RF MEMS开关的一般考虑 当MEMS开关的梁或膜受静电力吸引向下偏移到一定程度时达到阈值电压,梁或膜迅速偏移至下极板,电压大小取决于材料参数、开关尺寸及结构。梁或膜的材料需要比较好的杨氏模量与屈服强度,杨氏模量越大谐振频率就越高,保证工作的高速稳定及开关寿命;尺寸设计上要考虑静电驱动力的尺寸效应;结构的固...
欧姆龙RF MEMS开关工作原理,特点及应用 1、什么是MEMS? 它是使用结合电气与机械性能的微型系统,应用半导体(LSI)制造技术的细微加工技术生产出的产品。通过次技术的应用,实现了以往技术无法达成的超级小型化。*OMRON的RF MEMS Switch具有10GHz的超宽带宽,实现了低损失.高隔离度的优异性能。
原子-薄开关可以路由5G 和 6G 无线电信号 照片:门洛微型六包:黑色方形包包含六个 RF MEMS 开关, 由门洛微.每个端口控制八角形边缘周围一对 RF 端口之间的连接。 二十年前,专门从事射频电路的工程师们敢于梦想"理想的开关"。当"开"时,它会有超低的阻力,当"关"时,它会有超低的阻力,等等。它将很小,速度快...
最新一代的RF MEMS开关大多是电容式器件。电容式开关使用电容耦合工作,非常适合高频率的射频应用。在操作过程中,力被施加到像桥一样悬在基板上的梁。当梁被该力(例如静电力)拉下时,会接触到基板上的电介质,使信号终止。桥型电容开关的横截面如图 3 所示,其中使用CoventorMP®3D所建的电容式RF MEMS开关模型处...