对RCA清洗工艺的讨论将包括以下处理顺序: 1.初步清洁 去除粗大的杂质,包括图案化后的光刻胶掩模,可以通过干法或液体方法来完成。通常使用氧基等离子体的反应性等离子体辅助清洗是应用较广泛的干法,多年来已在IC制造中常规使用。几种类型的等离子体源是可商购的。离子对衬底器件晶圆造成的损坏一直是一个问题,但可以...
简述汽车车身清洗的工艺流程? 点击查看答案 第7题 RCA清洗属于()清洗方法。 A.干法清洗 B.超声清洗 C.湿法清洗 D.等离子体清洗 点击查看答案 第8题 RCA清洗属于()清洗方法。 A.干法清洗 B.湿法清洗 C.超声清洗 D.等离子体清洗 点击查看答案 第9题 关于超声波清洗仪使用错误的是A、不可在槽内无清洗液...