FSG:Fluorosilicate Glass,氟硅酸盐玻璃,是一种掺氟的硅酸盐玻璃。FSG的主要优点是它的介电常数较低(约3.6),比未掺杂氟的硅酸盐玻璃的介电常数(约4.0)低,因此FSG常常用作互连层的介电材料,用来降低互连电容,从而降低RC延时,提高芯片性能。 PSG,BPSG,FSG一般会用CVD的方法进行薄膜沉积,在薄膜沉积后,一般会用到...
缩略诧PSG、BPSG、FSG的中文名称分别是()、()和()。 暂无答案
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BPSG相比PSG具有更好的流动性和更低的流动温度,因此在需要更大面积覆盖和填充效果的场合,如隔离的制作中,通常优选BPSG。 FSG:Fluorosilicate Glass,氟硅酸盐玻璃,是一种掺氟的硅酸盐玻璃。FSG的主要优点是它的介电常数较低(约3.6),比未掺杂氟的硅酸盐玻璃的介电常数(约4.0)低,因此FSG常常用作互连层的介电材料...
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104|CVD中的PSG,BPSG,FSG分别是什么? Tom聊芯片智造 编辑于 2023年12月04日 16:49 半导体芯片晶圆厂 分享至 投诉或建议 评论 赞与转发
FSG:Fluorosilicate Glass,氟硅酸盐玻璃,是一种掺氟的硅酸盐玻璃。FSG的主要优点是它的介电常数较低(约3.6),比未掺杂氟的硅酸盐玻璃的介电常数(约4.0)低,因此FSG常常用作互连层的介电材料,用来降低互连电容,从而降低RC延时,提高芯片性能。 PSG,BPSG,FSG薄膜是怎么制造的?PSG,BPSG,FSG一般会用CVD的方法进行薄膜...