BPSG:BoroPhosphoSilicate Glass,硼磷硅酸盐玻璃,是由硅、硼、磷组成的三元玻璃。BPSG相比PSG具有更好的流动性和更低的流动温度,因此在需要更大面积覆盖和填充效果的场合,如隔离的制作中,通常优选BPSG。 FSG:Fluorosilicate Glass,氟硅酸盐玻璃,是一种掺氟的硅酸盐玻璃。FSG的主要优点是它的介电常数较低(约3.6),...
缩略诧PSG、BPSG、FSG的中文名称分别是()、()和()。 暂无答案
BPSG:BoroPhosphoSilicate Glass,硼磷硅酸盐玻璃,是由硅、硼、磷组成的三元玻璃。BPSG相比PSG具有更好的流动性和更低的流动温度,因此在需要更大面积覆盖和填充效果的场合,如隔离的制作中,通常优选BPSG。 FSG:Fluorosilicate Glass,氟硅酸盐玻璃,是一种掺氟的硅酸盐玻璃。FSG的主要优点是它的介电常数较低(约3.6),...
BPSG:BoroPhosphoSilicate Glass,硼磷硅酸盐玻璃,是由硅、硼、磷组成的三元玻璃。BPSG相比PSG具有更好的流动性和更低的流动温度,因此在需要更大面积覆盖和填充效果的场合,如隔离的制作中,通常优选BPSG。 FSG:Fluorosilicate Glass,氟硅酸盐玻璃,是一种掺氟的硅酸盐玻璃。FSG的主要优点是它的介电常数较低(约3.6),...
BPSG:将含有硅,磷,硼的气体和氧气或含氧气体在反应腔中混合,以形成PSG。FSG:将含有硅,氟的气体和氧气或含氧气体在反应腔中混合,以形成FSG。硅通常来源于硅源气体,例如硅烷(SiH4)、SiH2Cl2等。氧可以直接从氧气(O2)中获取,也可以从其他含氧化合物中获取。至于磷元素,常用的源气体有磷化氢(PH3)、三氯化磷(PCl3...
BPSG:将含有硅,磷,硼的气体和氧气或含氧气体在反应腔中混合,以形成PSG。FSG:将含有硅,氟的气体和氧气或含氧气体在反应腔中混合,以形成FSG。硅通常来源于硅源气体,例如硅烷(SiH4)、SiH2Cl2等。氧可以直接从氧气(O2)中获取,也可以从其他含氧化合物中获取。至于磷元素,常用的源气体有磷化氢(PH3)、三氯化磷(PCl3...
104|CVD中的PSG,BPSG,FSG分别是什么? Tom聊芯片智造 编辑于 2023年12月04日 16:49 半导体芯片晶圆厂 分享至 投诉或建议 评论 赞与转发
BPSG:将含有硅,磷,硼的气体和氧气或含氧气体在反应腔中混合,以形成PSG。FSG:将含有硅,氟的气体和氧气或含氧气体在反应腔中混合,以形成FSG。硅通常来源于硅源气体,例如硅烷(SiH4)、SiH2Cl2等。氧可以直接从氧气(O2)中获取,也可以从其他含氧化合物中获取。至于磷元素,常用的源气体有磷化氢(PH3)、三氯化磷(PCl3...