应用领域不断拓展 :随着三维集成技术的发展,需要在不同层之间沉积高质量的绝缘层和互连层,PECVD设备可满足这一需求,在三维芯片制造中发挥重要作用。 另外在功率半导体器件制造中,PECVD设备可用于沉积钝化层、绝缘层等,提高功率器件的性能和可靠性,随着新能源汽车、工业控制等领域对功率器件需求的增加,PECVD设备在该领域的应
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1月28日,据证监会披露,海通证券发布了关于理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司(简称“理想万里晖”)首次公开发行股票并上市辅导备案报告。2023年1月13日,海通证券与理想万里晖签署了上市辅导协议。 资料显示,上海理想万里晖薄膜设备有限公司前身是理想能源PECVD事业部,2012年经过拆分重组,于2013年完成注册。2020年,...
7月12日,拓荆科技股份有限公司(简称“拓荆科技”)申请科创板上市已获受理。根据招股书,拓荆科技拟募集资金10.00亿元,计划投资于高端半导体设备扩产项目、先进半导体设备的技术研发与改进项目、ALD设备研发与产业化项目等。 国内唯一PECVD设备产业化应用的厂商 拓荆科
集微网消息,近日,正业科技在接受机构调研时表示,目前设备选型已进入后期阶段。本项目的生产组件用的串焊机、自动线、层压机等设备将选用国内优质厂商,8GW异质结电池生产设备中的主要设备包括清洗制绒,PECVD,PVD以及印刷机也将从国内主要设备厂商进行采购。目前公司产
2023年6月，微导纳米公告称，公司近日与浙江国康新能源科技有限公司签署了TOPCon电池设备销售合同，合同金额总计约为人民币4.41亿元。本次合同中的TOPCon电池设备，包括但不限于ALD设备、PEALD设备、PECVD设备、管式氧化退火炉、管式扩散炉等，设备交付时间为2023年6月30日。捷佳伟创的PE-Poly技术路线采用原位掺杂，...
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